[发明专利]一种柔性阵列基板及制造方法

摘要

本发明涉及柔性阵列基板技术领域，特别涉及一种柔性阵列基板及其制造方法，通过在第一源极绝缘层上设置第一过孔，栅极绝缘层上设置第二过孔，第二过孔与第一过孔相对设置且相通，第一过孔和第二过孔中均填充有源层，使得有源层与源极相连接，通过形成垂直结构的TFT器件可以缩短薄膜晶体管沟道制程的临界尺寸，从而达到缩小整体器件的占用面积，能够有效提高阵列基板抗弯折能力，而且还能够降低画素面积和显示面板边框尺寸，更适合应用在高解析度柔性面板中。

主权项

1.一种柔性阵列基板，其特征在于，包括TFT区域结构，所述TFT区域结构包括第一玻璃基板，在所述第一玻璃基板表面上依次层叠设有第一柔性衬底、第一水氧阻隔层、第一缓冲层、第一源极金属层、第一源极绝缘层、栅极金属层、栅极绝缘层、有源层、第一漏极金属层和第一钝化层；/n所述第一源极绝缘层上设有第一过孔，所述栅极绝缘层上设有第二过孔，所述第二过孔与所述第一过孔相对设置且相通，所述第一过孔和第二过孔中均填充有所述有源层，所述第一过孔中填充的有源层与所述第一源极金属层接触。/n