[发明专利]触控阵列基板及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201910768751.0 申请日: 2019-08-20
公开(公告)号: CN110620118B 公开(公告)日: 2021-03-16
发明(设计)人: 颜源;许勇;艾飞;宋德伟 申请(专利权)人: 武汉华星光电技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/84;G03F1/32;G03F1/80;G06F3/041
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 430079 湖北省武汉市*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 本申请提供一种触控阵列基板及其制备方法,在触控阵列基板中,有源层设置在缓冲层上,有源层包括对应于源极的第一区域和对应于漏极的第二区域;绝缘层设置在有源层上;像素电极层设置在所述绝缘层上,像素电极层包括像素电极和多个基层;金属层对应的叠设在像素电极层的多个基层上,金属层包括触控信号线、数据线和栅极;平坦层设置在金属层上;公共电极层设置在平坦层上,公共电极层包括触控电极、源极和漏极。本申请将金属层和像素电极层共用一光罩,形成栅极、触控信号线、数据线和像素电极,节省了工艺步骤。
搜索关键词: 阵列 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种触控阵列基板,其包括基板和设置在基板上的缓冲层,其特征在于,所述触控阵列基板包括:/n有源层,设置在所述缓冲层上,所述有源层包括对应于薄膜晶体管的源极的第一区域和对应于所述薄膜晶体管的漏极的第二区域;/n绝缘层,设置在所述有源层上并覆盖所述有源层和所述缓冲层;/n像素电极层,设置在所述绝缘层上,所述像素电极层包括像素电极和与所述像素电极同层设置的多个基层;/n金属层,对应的叠设在所述像素电极层的多个基层上,所述金属层包括触控信号线、数据线、栅极和栅线;/n平坦层,设置在所述金属层上并覆盖所述金属层、像素电极和绝缘层;以及/n公共电极层,设置在所述平坦层上,所述公共电极层包括触控电极、所述源极和所述漏极,所述触控电极与所述触控信号线相连,所述源极的一端与所述第一区域相连,所述源极的另一端与所述数据线相连,所述漏极的一端与所述第二区域相连,所述漏极的另一端与所述像素电极相连。/n
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