[发明专利]触控阵列基板及其制备方法有效
| 申请号: | 201910768751.0 | 申请日: | 2019-08-20 |
| 公开(公告)号: | CN110620118B | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
| 发明(设计)人: | 颜源;许勇;艾飞;宋德伟 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/84;G03F1/32;G03F1/80;G06F3/041 |
| 代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
| 地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本申请提供一种触控阵列基板及其制备方法,在触控阵列基板中,有源层设置在缓冲层上,有源层包括对应于源极的第一区域和对应于漏极的第二区域;绝缘层设置在有源层上;像素电极层设置在所述绝缘层上,像素电极层包括像素电极和多个基层;金属层对应的叠设在像素电极层的多个基层上,金属层包括触控信号线、数据线和栅极;平坦层设置在金属层上;公共电极层设置在平坦层上,公共电极层包括触控电极、源极和漏极。本申请将金属层和像素电极层共用一光罩,形成栅极、触控信号线、数据线和像素电极,节省了工艺步骤。 | ||
| 搜索关键词: | 阵列 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种触控阵列基板,其包括基板和设置在基板上的缓冲层,其特征在于,所述触控阵列基板包括:/n有源层,设置在所述缓冲层上,所述有源层包括对应于薄膜晶体管的源极的第一区域和对应于所述薄膜晶体管的漏极的第二区域;/n绝缘层,设置在所述有源层上并覆盖所述有源层和所述缓冲层;/n像素电极层,设置在所述绝缘层上,所述像素电极层包括像素电极和与所述像素电极同层设置的多个基层;/n金属层,对应的叠设在所述像素电极层的多个基层上,所述金属层包括触控信号线、数据线、栅极和栅线;/n平坦层,设置在所述金属层上并覆盖所述金属层、像素电极和绝缘层;以及/n公共电极层,设置在所述平坦层上,所述公共电极层包括触控电极、所述源极和所述漏极,所述触控电极与所述触控信号线相连,所述源极的一端与所述第一区域相连,所述源极的另一端与所述数据线相连,所述漏极的一端与所述第二区域相连,所述漏极的另一端与所述像素电极相连。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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