[发明专利]触控阵列基板及其制备方法

说明书

本申请提供一种触控阵列基板及其制备方法，在触控阵列基板中，有源层设置在缓冲层上，有源层包括对应于源极的第一区域和对应于漏极的第二区域；绝缘层设置在有源层上；像素电极层设置在所述绝缘层上，像素电极层包括像素电极和多个基层；金属层对应的叠设在像素电极层的多个基层上，金属层包括触控信号线、数据线和栅极；平坦层设置在金属层上；公共电极层设置在平坦层上，公共电极层包括触控电极、源极和漏极。本申请将金属层和像素电极层共用一光罩，形成栅极、触控信号线、数据线和像素电极，节省了工艺步骤。

技术领域

本申请涉及一种显示技术，特别涉及一种触控阵列基板及其制备方法。

背景技术

随着集成式触控显示面板的发展，人们对高分辨率的要求越来越高。因此需要精细的有源驱动矩阵(阵列基板)配合各像素区液晶进行偏转。

但是现有技术中的触控集成式的阵列基板的制备方法步骤较为繁琐，导致生产成本较高和周期较长。

发明内容

本申请实施例提供一种触控阵列基板及其制备方法，以解决现有的触控式阵列基板生产成本较高和周期较长的技术问题。

本申请实施例提供一种触控阵列基板，其包括基板和设置在基板上的缓冲层，所述触控阵列基板包括：

有源层，设置在所述缓冲层上，所述有源层包括对应于薄膜晶体管的源极的第一区域和对应于所述薄膜晶体管的漏极的第二区域；

绝缘层，设置在所述有源层上并覆盖所述有源层和所述缓冲层；

像素电极层，设置在所述绝缘层上，所述像素电极层包括像素电极和与所述像素电极同层设置的多个基层；

金属层，对应的叠设在所述像素电极层的多个基层上，所述金属层包括触控信号线、数据线、栅极和栅线；

平坦层，设置在所述金属层上并覆盖所述金属层、像素电极和绝缘层；以及

公共电极层，设置在所述平坦层上，所述公共电极层包括触控电极、所述源极和所述漏极，所述触控电极与所述触控信号线相连，所述源极的一端与所述第一区域相连，所述源极的另一端与所述数据线相连，所述漏极的一端与所述第二区域相连，所述漏极的另一端与所述像素电极相连。

在本申请的触控阵列基板中，所述栅极与所述栅线相连且一体形成；所述栅线的延伸方向垂直于所述数据线的延伸方向，所述栅线与所述数据线相隔设置；

其中，所述公共电极层还包括多条连接线，每行的所述栅线通过所述连接线相连接。

在本申请的触控阵列基板中，所述多个基层包括第一基层、第二基层和第三基层，所述第一基层的延长方向与所述触控信号线的延伸方向一致，所述第二基层的延伸方向与所述数据线的延伸方向一致，所述第三基层的延伸方向与所述栅线的延伸方向一致；

所述触控信号线叠设在所述第一基层上，所述数据线叠设在所述第二基层上，所述栅线叠设在所述第三基层上。

本申请还涉及一种触控阵列基板的制备方法，所述制备方法包括：

提供一基板；

在所述基板上依次形成缓冲层、有源层和绝缘层，所述有源层包括对应于薄膜晶体管的源极的第一区域和对应于所述薄膜晶体管的漏极的第二区域；

在所述绝缘层上依次形成像素电极层和金属层，并采用一光罩对所述像素电极层和金属层进行图案化处理，形成像素电极、触控信号线、数据线和栅极；

在所述金属层上形成平坦层；