[发明专利]一种显示基板及其制作方法、显示装置

摘要

本发明公开一种显示基板及其制作方法、显示装置，涉及显示技术领域，为解决通过一次构图工艺同时形成层叠设置的两层功能图形时，无法实现上层功能图形和下层功能图形精确的尺寸对应关系，导致对显示基板的工作性能产生影响的问题。所述制作方法包括：在基底上依次形成层叠设置的第一过渡功能图形、第二过渡功能图形和光刻胶图形，光刻胶图形覆盖第二过渡功能图形的边缘区域；对光刻胶图形进行烘烤，使部分光刻胶图形覆盖第二过渡功能图形的侧表面；以烘烤后的光刻胶图形为掩膜，对第二过渡功能图形进行湿法刻蚀，形成第二目标功能图形，并对第一过渡功能图形进行刻蚀，形成第一目标功能图形。本发明提供的制作方法用于制作显示基板。

主权项

1.一种显示基板的制作方法，其特征在于，包括：在基底上依次形成层叠设置的第一过渡功能图形、第二过渡功能图形和光刻胶图形，所述光刻胶图形覆盖所述第二过渡功能图形的边缘区域；对所述光刻胶图形进行烘烤，使部分所述光刻胶图形流动至所述第二过渡功能图形的侧面，并覆盖所述第二过渡功能图形的侧表面；以烘烤后的光刻胶图形为掩膜，对所述第二过渡功能图形进行湿法刻蚀，形成第二目标功能图形，并对所述第一过渡功能图形进行刻蚀，形成第一目标功能图形。