[发明专利]半导体装置有效

专利信息
申请号: 201910728940.5 申请日: 2019-08-08
公开(公告)号: CN111554743B 公开(公告)日: 2023-09-15
发明(设计)人: 西口俊史 申请(专利权)人: 株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社
主分类号: H01L29/78 分类号: H01L29/78;H01L29/423;H01L29/417;H01L29/40
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 徐殿军
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 实施方式的半导体装置具备:半导体部;第1电极,设置在上述半导体部的背面上;第2电极,设置在上述半导体部的正面侧;第3电极,设置在上述半导体部的正面侧;以及控制电极,配置在设于上述半导体部的正面侧的沟槽的内部,与上述第3电极电连接。上述控制电极配置在上述半导体部与上述第2电极之间,与上述半导体部及上述第2电极电绝缘。上述控制电极包括在沿着上述半导体部的上述正面的第1方向上延伸的第1部分、和在与上述第1方向交叉的第2方向上延伸的第2部分,在上述沟槽内不分岔而连续地延伸。
搜索关键词: 半导体 装置
【主权项】:
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