[发明专利]蚀刻剂组合物和使用其制造布线基板的方法有效
| 申请号： | 201910660021.9 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN110747473B | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 金俸均;金镇爽;沈承辅;崔新革;金承熙;李栋熙;鞠仁说;金范洙;金相泰;朴英哲;尹暎晋;林大成 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司;东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | C07C229/00 | 分类号： | C07C229/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 王东贤;朴圣洁 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及蚀刻剂组合物以及制造布线基板的方法。蚀刻剂组合物可包括：过氧硫酸盐、环胺化合物、包括羧基的第一两性化合物和包括砜基的第二两性化合物，其中第二两性化合物可不同于第一两性化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 使用 制造 布线 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蚀刻剂组合物，包括：/n过氧硫酸盐；/n环胺化合物；/n包括羧基的第一两性化合物；和/n包括砜基的第二两性化合物，/n其中，所述第二两性化合物不同于所述第一两性化合物。/n
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