[发明专利]一种透明OLED显示器制作方法及显示器有效
申请号: | 201910359323.2 | 申请日: | 2019-04-30 |
公开(公告)号: | CN110176462B | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 福建华佳彩有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L27/32;H01L21/77 |
代理公司: | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人: | 林祥翔;张忠波 |
地址: | 351100 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种透明OLED显示器制作方法及显示器,其中所述方法包括如下步骤:在有源层上形成蚀刻阻挡层,并在蚀刻阻挡层上蚀刻出连接源极/漏级电路的ES过孔;在蚀刻阻挡层上刻画源极/漏级电路;在源极/漏级电路上形成钝化层,并蚀刻出显露漏级电路表面的IP过孔;在钝化层上形成有机平坦层,并在IP过孔处曝光显影出显露漏级电路表面的OP过孔;在有机平坦层上形成ITO透明电极并图案化,且ITO透明电极依次经过IP过孔、OP过孔连接漏级电路;通过黄光制程透过半色掩膜板对有机平坦层曝光显影,同时形成透射窗口通孔、画素开口和隔垫层。本方案中能够减少光罩布设,优化显示器制程工艺的同时降低生产成本,进而提高产品的竞争力。 | ||
搜索关键词: | 一种 透明 oled 显示器 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种透明OLED显示器制作方法,其特征在于,包括如下步骤:在基板上形成栅极并制作栅极驱动电路;在栅极上形成栅极绝缘层;在栅极绝缘层上形成有源层;在有源层上形成蚀刻阻挡层,并在蚀刻阻挡层上蚀刻出连接源极/漏级电路的ES过孔;在蚀刻阻挡层上刻画源极/漏级电路;在源极/漏级电路上形成钝化层,并蚀刻出显露漏级电路表面的IP过孔;在钝化层上形成有机平坦层,并在IP过孔处曝光显影出显露漏级电路表面的OP过孔;在有机平坦层上形成ITO透明电极并图案化,且ITO透明电极依次经过IP过孔、OP过孔连接漏级电路;通过黄光制程透过半色掩膜板对有机平坦层曝光显影,同时形成透射窗口通孔、画素开口和隔垫层,其中所述半色掩膜板具有三种不同光线透过率。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的