[发明专利]一种β-氮化硅粉体的制备方法在审
申请号: | 201910268491.0 | 申请日: | 2019-04-04 |
公开(公告)号: | CN109987943A | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
发明(设计)人: | 杨德安;高春兰;张宝强;郭靖栋 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | C04B35/584 | 分类号: | C04B35/584;C04B35/626 |
代理公司: | 天津一同创新知识产权代理事务所(普通合伙) 12231 | 代理人: | 王丽 |
地址: | 300350 天津市津南区海*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明涉及一种β‑氮化硅粉体的制备方法,将掺杂TiO2粉体的硅粉进行球磨,添加氮化硅磨球和酒精;放入球磨机中进行球磨,然后球磨后的TiO2的硅粉进行抽滤,去除硅粉中的酒精;将抽滤过后的粉体在真空干燥箱中进行烘干,去除残留的酒精;将上述真空干燥后的样品进行研磨过筛,获得颗粒均匀的粉体;将上述研磨后的掺杂TiO2的硅粉体放入高温管式炉中,抽真空,通入氮氢混合气,以小于等于4℃/min升至800℃,再以小于等于2℃/min升至1300‑1400℃,并保温2‑4h;即得到氮化硅粉体。本发明具有氮化温度低、成本低、氮化周期短;所制备的粉体中β‑Si3N4相高达64wt%,粒径小且部分为短棒状。 | ||
搜索关键词: | 粉体 硅粉 氮化硅粉体 球磨 制备 酒精 氮化 研磨 抽滤 放入 去除 掺杂 球磨机 氮氢混合气 高温管式炉 真空干燥箱 抽真空 氮化硅 短棒状 烘干 过筛 粒径 磨球 保温 残留 | ||
【主权项】:
1.一种β‑氮化硅粉体的制备方法,其特征是包括以下步骤:1)、将掺杂2.5‑8wt%TiO2粉体的硅粉进行球磨,将球磨后的粉体分别放入氮化硅球磨罐中,添加氮化硅磨球和酒精,其中粉体:磨球:酒精质量比为1:(3‑5):1.5;放入球磨机中进行球磨,转速300‑400r/min,球磨时间2‑4h;2)、将上述球磨后的掺杂TiO2的硅粉进行抽滤,去除硅粉中的酒精;之后,将上述抽滤过后的粉体在真空干燥箱中进行烘干,去除残留的酒精,温度50‑75℃,烘干时间2‑4h;将上述真空干燥后的样品进行研磨过50‑80目筛,获得颗粒均匀的粉体;3)、将上述研磨后的掺杂TiO2的粉体放入高温管式炉中,抽真空4‑6次,通入氮氢混合气,以小于等于4℃/min升至800℃,再以小于等于2℃/min升至1300‑1400℃,并保温2‑4h;即得到氮化硅粉体。
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