[发明专利]三氯氢硅的合成装置有效

专利信息
申请号: 201810029719.6 申请日: 2018-01-12
公开(公告)号: CN110028071B 公开(公告)日: 2021-01-22
发明(设计)人: 张凯兴;万宁宁;李珑;齐元红;杨少军;王正坤;刘新岗;张正龙 申请(专利权)人: 新特能源股份有限公司
主分类号: C01B33/107 分类号: C01B33/107
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 罗建民;邓伯英
地址: 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** 国省代码: 新疆;65
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种三氯氢硅的合成装置,包括:硅粉干燥罐,用于加入硅粉,通入非氧化性气体作为硅粉的推料介质推送硅粉;硅粉加料过渡罐,用于通入非氧化性气体作为硅粉的推料介质推送硅粉;硅粉缓冲罐,用于缓冲硅粉,通入氯化氢作为硅粉的推料介质推送硅粉;三氯氢硅合成反应器,用于由硅粉缓冲罐加入的硅粉与通入的氯化氢反应生成三氯氢硅。本发明中三氯氢硅的合成装置中的硅粉缓冲罐,采用氯化氢作为硅粉的推料介质推送硅粉,可省去传统三氯氢硅合成工艺中配套的除氮装置,本发明提高了三氯氢硅合成反应器中反应得到的合成气中的三氯氢硅的分压,从而使得后续的合成气的分离提纯过程中进行冷凝时,三氯氢硅冷凝更加完全,三氯氢硅的收率提高。
搜索关键词: 三氯氢硅 合成 装置
【主权项】:
1.一种三氯氢硅的合成装置,其特征在于,包括:硅粉干燥罐,用于加入硅粉,当第一阀门组打开时,第二阀门组关闭,硅粉干燥罐还用于通入非氧化性气体作为硅粉的推料介质推送硅粉;硅粉加料过渡罐,与硅粉干燥罐连接,硅粉干燥罐与硅粉加料过渡罐之间的连接管路上设置有第一阀门组,当第二阀门组打开时,第一阀门组、第三阀门组关闭,硅粉加料过渡罐用于通入非氧化性气体作为硅粉的推料介质推送硅粉;硅粉缓冲罐,与硅粉加料过渡罐连接,硅粉加料过渡罐与硅粉缓冲罐之间的连接管路上设置有第二阀门组,当第三阀门组打开时,第二阀门组关闭,硅粉缓冲罐用于缓冲硅粉,通入氯化氢作为硅粉的推料介质推送硅粉;三氯氢硅合成反应器,与硅粉缓冲罐连接,硅粉缓冲罐与三氯氢硅合成反应器之间的连接管路上设置有第三阀门组,三氯氢硅合成反应器用于由硅粉缓冲罐加入的硅粉与通入的氯化氢反应生成三氯氢硅。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新特能源股份有限公司,未经新特能源股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201810029719.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top