[发明专利]树脂组合物的流动性评价方法、树脂组合物的分选方法以及半导体装置的制造方法有效
| 申请号： | 201880090757.0 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN111801567B | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 祖父江省吾;牧野龙也 | 申请（专利权）人： | 株式会社力森诺科 |
| 主分类号： | G01N11/00 | 分类号： | G01N11/00;G01N3/00;H01L21/56 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及树脂组合物的流动性评价方法。该方法包括：准备由树脂组合物构成的试样的工序；以及通过对试样赋予应变且在温度(T)下测定试样的剪切弹性率，来掌握温度(T)下的试样的剪切弹性率的经时性变化的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 树脂 组合 流动性 评价 方法 分选 以及 半导体 装置 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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