[发明专利]立面延伸的存储器单元串的晶体管和阵列在审

专利信息
申请号: 201880083165.6 申请日: 2018-12-13
公开(公告)号: CN111512440A 公开(公告)日: 2020-08-07
发明(设计)人: D·H·韦尔斯;L·C·特兰;李杰;A·A·汗埃卡;K·舍罗特瑞 申请(专利权)人: 美光科技公司
主分类号: H01L27/11582 分类号: H01L27/11582;H01L27/11556;H01L29/792;H01L29/788
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 王龙
地址: 美国爱*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 晶体管包含具有第一侧和相对的第二侧的沟道材料。栅极在所述沟道材料的所述第一侧上,并且栅极绝缘体在所述栅极和所述沟道材料之间。第一绝缘材料具有第一侧和相对的第二侧,所述第一侧邻近所述沟道材料的所述第二侧。与所述第一绝缘材料的成分不同的第二绝缘材料邻近所述第一绝缘材料的所述第二侧。所述第二绝缘材料具有(a)、(b)和(c)中的至少一种,其中,(a):低于所述第一材料的氧扩散率,(b):净正电荷,和(c):所述第一材料的至少两倍的剪切强度。在一些实施例中,立面延伸的存储器单元串的阵列包含此类晶体管。公开了其它实施例,包括方法。
搜索关键词: 延伸 存储器 单元 晶体管 阵列
【主权项】:
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