[发明专利]调节板、阳极保持器以及基板保持器有效
| 申请号： | 201880045920.1 | 申请日： | 2018-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN110914482B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 下村直树;长井瑞树 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D17/10 | 分类号： | C25D17/10;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王玮;张丰桥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 为了部分地或局部地控制针对方形基板的镀敷膜厚。本发明提供一种用于调节阳极与方形基板之间的电流的调节板。该调节板具有：主体部，该主体部具有形成供电流通过的方形开口的缘部；和可装卸的遮蔽部件，该遮蔽部件用于遮蔽方形开口的至少一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 调节 阳极 保持 以及 | ||
【主权项】：
暂无信息
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