[发明专利]调节板、阳极保持器以及基板保持器有效
申请号: | 201880045920.1 | 申请日: | 2018-07-06 |
公开(公告)号: | CN110914482B | 公开(公告)日: | 2022-02-22 |
发明(设计)人: | 下村直树;长井瑞树 | 申请(专利权)人: | 株式会社荏原制作所 |
主分类号: | C25D17/10 | 分类号: | C25D17/10;H01L21/683 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王玮;张丰桥 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 调节 阳极 保持 以及 | ||
1.一种调节板,该调节板用于调整阳极与方形基板之间的电流,其特征在于,具有:
主体部,该主体部具有形成方形开口的缘部,所述方形开口供电流通过;和
可装卸的遮蔽部件,该可装卸的遮蔽部件用于遮蔽所述方形开口的至少一部分,
所述遮蔽部件包括划分部件,该划分部件被构成为将所述方形开口分割成多个分区,
所述调节板具有轴状的支承部件,该轴状的支承部件被设置为横穿所述方形开口,
所述遮蔽部件包括遮蔽板,该遮蔽板可装卸地安装于所述支承部件。
2.根据权利要求1所述的调节板,其特征在于,
所述遮蔽板以不接触于所述主体部的方式可装卸地安装于所述支承部件。
3.根据权利要求1所述的调节板,其特征在于,
所述划分部件对所述方形开口进行划分而形成多个开口。
4.一种阳极保持器,该阳极保持器被构成为对阳极进行保持,其特征在于,具有:
保持器主体部,该保持器主体部保持所述阳极;
阳极遮罩,该阳极遮罩安装于所述保持器主体部,具有方形开口,遮蔽所述阳极的周边部;以及
可装卸的遮蔽部件,该可装卸的遮蔽部件用于遮蔽所述方形开口的至少一部分,
所述遮蔽部件包括划分部件,该划分部件被构成为将所述方形开口分割成多个分区,
所述阳极保持器具有轴状的支撑部件,该轴状的支承部件被设置为横穿所述方形开口,
所述遮蔽部件包括遮蔽板,该遮蔽板可装卸地安装于所述支承部件。
5.根据权利要求4所述的阳极保持器,其特征在于,
所述遮蔽板以不接触于所述保持器主体部以及所述阳极遮罩的方式可装卸地安装于所述支承部件。
6.根据权利要求4所述的阳极保持器,其特征在于,
所述划分部件对所述方形开口进行划分而形成多个开口。
7.一种基板保持器,该基板保持器用于保持方形基板,其特征在于,具有:
保持器主体部,该保持器主体部具有形成方形开口的缘部,所述方形开口用于使保持的所述方形基板露出;和
可装卸的遮蔽部件,该可装卸的遮蔽部件用于遮蔽所述方形开口的至少一部分,
所述遮蔽部件包括划分部件,该划分部件被构成为将所述方形开口分割成多个分区,
所述基板保持器具有轴状的支承部件,该轴状的支承部件被设置为横穿所述方形开口,
所述遮蔽部件包括遮蔽板,该遮蔽板可装卸地安装于所述支承部件。
8.根据权利要求7所述的基板保持器,其特征在于,
所述遮蔽板以不接触于所述保持器主体部的方式可装卸地安装于所述支承部件。
9.根据权利要求7所述的基板保持器,其特征在于,
所述划分部件对所述方形开口进行划分而形成多个开口。
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