[发明专利]不溶性阳极及脉冲电镀设备在审

专利信息
申请号: 202110419695.7 申请日: 2021-04-19
公开(公告)号: CN113106527A 公开(公告)日: 2021-07-13
发明(设计)人: 郑列俭;贺齐群 申请(专利权)人: 深圳市宇开源电子材料有限公司
主分类号: C25D17/12 分类号: C25D17/12;C25D5/18
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 谢岳鹏
地址: 518000 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种不溶性阳极及脉冲电镀设备。本发明的不溶性阳极包括涂层阳极和防护阳极,涂层阳极的表面涂设有活性材料。本发明的不溶性阳极适用于脉冲电镀工艺中,在电镀的过程中,待镀工件放置于防护阳极相对涂层阳极的另一侧,防护阳极与涂层阳极之间存在间隙,此时待镀工件与防护阳极的距离更近,且涂层阳极在防护阳极上的投影位于防护阳极的外边缘的内部,从而防护阳极遮挡住涂层阳极。在倒极过程中,电解液中的铜离子会优先在靠近待镀工件的防护阳极上析出,能够避免涂层阳极上析出铜单质而破坏涂层阳极表面的活性材料,提高涂层阳极的使用寿命,并提升镀铜的均匀性。
搜索关键词: 不溶性 阳极 脉冲 电镀 设备
【主权项】:
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  • 本实用新型提供一种电镀阳极板,包括固定钩,所述固定钩为截面呈凹字形的框体结构,所述固定钩的一侧设置有燕尾槽,所述燕尾槽与设置在阳极板上的燕尾条滑动连接,所述固定钩卡接在电镀池一侧的侧壁上,且所述固定钩的一侧设置有定位结构,所述定位结构穿过固定钩与设置在燕尾条上的凹孔相卡接,通过设计固定钩可以使得其与电解池的侧壁相贴合,而位于固定钩一侧的燕尾槽则可以与阳极板上的燕尾条滑动连接,通过该设计可以在阳极板损耗后进行更换,采用该设计相比较于传统的设备而言无需拆卸全部设备后在进行更换。
  • 一种圆柱形脉冲电镀不溶性阳极装置-202223506621.6
  • 聂军兵;金勇军;陈聪安 - 中山市技翔电子科技有限公司
  • 2022-12-28 - 2023-05-30 - C25D17/12
  • 本实用新型公开了一种圆柱形脉冲电镀不溶性阳极装置,包括呈圆柱形的脉冲不溶性阳极;脉冲不溶性阳极外部设有圆柱形的阳极隔膜;不溶性阳极装置还设有呈圆柱形的不锈金属电极;不锈金属电极设置于脉冲不溶性阳极与阳极隔膜之间,或设置于阳极隔膜的外部;不溶性阳极装置还设置有固定框架;脉冲不溶性阳极及不锈金属电极相互间隔的固定于固定框架内,阳极隔膜与不锈金属电极相互贴附或相互间隔式的固定于固定框架内;使用不锈金属电极保护脉冲不溶性阳极,并采用圆柱形设计实现密集孔区与其他区域电镀吸收电力线均等从而提升电镀均匀性的效果,设置阳极隔膜阻隔电镀过程中阳极产生的气泡,避免光剂氧化、电镀麻点等不良。
  • 一种阴极导电机构及电镀装置-202223501434.9
  • 臧伟 - 深圳市镭煜科技有限公司
  • 2022-12-27 - 2023-05-30 - C25D17/12
  • 本实用新型公开了电镀设备技术领域中的一种阴极导电机构及电镀装置,阴极导电机构包括:位于薄膜走膜方向左右两侧的两个阴极导电带、位于两个阴极导电带下方的皮带,皮带的表面设有多个均匀分布的对薄膜进行导电的导电杆,导电杆的长度方向与薄膜的走膜方向垂直,且导电杆的长度大于或等于薄膜的宽度,导电杆的两端均设有导电支耳,运动到皮带上表面的导电支耳与对应的阴极导电带的下表面接触。解决了现有的电镀设备在薄膜宽度方向上镀层不均匀的问题,其使得薄膜在宽度方向上受到均匀的阴极电流,进而使得在薄膜宽度方向上的镀层均匀。
  • 一种抗腐蚀的钛阳极板结构-202222971567.6
  • 陈营兴;盛友梅;陈星杰 - 厦门弘治环保科技有限公司
  • 2022-11-03 - 2023-05-26 - C25D17/12
  • 本实用新型公开了一种抗腐蚀的钛阳极板结构,其结构包括:拼接孔、限位体、钛阳极板,拼接孔横向贯穿于限位体的中心,限位体内侧与钛阳极板进行固定连接;本实用新型通过钛阳极板表层进一步改进后,其根据新增的压板与抗变形板通过贴合层与钛阳极板表层贴合后,通过压板与抗变形板的高强度受力特点加持下能将钛阳极板表层进行贴合保护,防止了钛阳极板持续受零件重量的冲击而造成的变形,提高钛阳极板的使用强度,进而通过边缘四端的螺纹孔与配套的螺栓衔接下可保证压板、抗变形板等部件与钛阳极板进行牢固衔接,反之便于后续的拆卸养护。
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