[发明专利]采用衍射检测器的样本检查设备有效
| 申请号： | 201880014087.4 | 申请日： | 2018-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN110325846B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | P·埃文斯;K·罗杰斯 | 申请（专利权）人： | 诺丁汉特伦特大学;克兰菲尔德大学 |
| 主分类号： | G01N23/20008 | 分类号： | G01N23/20008;G01N23/205 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 英国诺丁汉*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种样本检查设备(100)以圆锥壳(112)的X光或类似辐射照射样本(110)，用于从样本(110)上的圆形路径(122)产生多个德拜环。该设备(100)设置有两个检测器(1400，1402)；第一检测器(1400)接收衍射辐射，且第二检测器(1402)接收通过在第一检测器(1400)的检测表面处设置的编码孔径(1404)传送的辐射。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 衍射 检测器 样本 检查 设备 | ||
【主权项】：
1.一种样本检查设备，包括：电磁辐射源；射束形成准直仪，用于产生基本上圆锥壳的辐射，第一辐射检测器，被设置成在圆锥壳射束入射到待检样本上之后接收衍射辐射；编码孔径，设置在所述第一辐射检测器的检测表面处；以及范围检测器，被设置成收集通过所述编码孔径传送的辐射。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于诺丁汉特伦特大学;克兰菲尔德大学，未经诺丁汉特伦特大学;克兰菲尔德大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880014087.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：吸水性树脂结构的非破坏评价方法
- 下一篇：热电沉积监视器
- 同类专利
- 识别X射线衍射中的电荷共享-202180052612.3
- 鲁洛夫·德弗里斯;弗拉迪米尔·乔瓦诺维奇 - 马尔文帕纳科公司
- 2021-08-24 - 2023-07-14 - G01N23/20008
- 公开了一种X射线衍射装置和处理来自X射线衍射装置的信号的方法。通过分析由相应的第一检测器单元和第二检测器单元生成的第一脉冲和第二脉冲之间的时间延迟，并且通过分析第一脉冲和第二脉冲中的每一个的能量，可以识别电荷共享事件和重合光子事件。
- 用于X射线分析装置的样品保持器-202180051685.0
- 米伦·加特什基;D·贝克尔斯;简·武特维恩 - 马尔文帕纳科公司
- 2021-08-26 - 2023-06-30 - G01N23/20008
- 本发明涉及用于保持样品的样品保持器。样品保持器包括主体，该主体具有入射表面和主体中用于接收样品的开口。当样品被用X射线照射时，样品保持器的入射表面也可能被照射，尤其是在低入射角下。为了减少来自入射表面的背景散射，入射表面包括用于阻挡X射线的突起。
- 用于安装成像检测器的设备-202180048245.X
- E·鲍斯;R·奥斯汀 - 贝克休斯油田作业有限责任公司
- 2021-07-13 - 2023-03-17 - G01N23/20008
- 检测器组件包括多个传感器。每个传感器可以包括其中具有通孔的管；布置在管的通孔内的导线，其中导线与管电绝缘；以及沿着管的整个长度固定的托架，该托架被构造成沿着传感器的长度提供刚性。
- 采用衍射检测器的样本检查设备-201880014087.4
- P·埃文斯;K·罗杰斯 - 诺丁汉特伦特大学;克兰菲尔德大学
- 2018-02-22 - 2022-10-28 - G01N23/20008
- 一种样本检查设备(100)以圆锥壳(112)的X光或类似辐射照射样本(110)，用于从样本(110)上的圆形路径(122)产生多个德拜环。该设备(100)设置有两个检测器(1400，1402)；第一检测器(1400)接收衍射辐射，且第二检测器(1402)接收通过在第一检测器(1400)的检测表面处设置的编码孔径(1404)传送的辐射。
- 用于测量X射线成像系统的定向角度的装置和方法-202080083991.8
- 爱德华·罗梅罗;阿列克西安·阿诺;克莱门特·雷马查;亨利·蒲鲁东 - 赛峰集团;工业方法和过程研究发展协会
- 2020-11-26 - 2022-07-12 - G01N23/20008
- 本发明涉及用于测量x射线成像系统的定向角度的装置和方法，x射线成像系统包括x射线光源、x射线检测器以及样品保持部，样品保持部被布置成接纳待分析的样品。根据本发明，该方法(40)包括：‑发射(42)多色的x射线射束，该x射线射束穿过安装在样品保持部上的参照样品，以在x射线检测器的感应区域上形成衍射图案，‑用x射线检测器生成(43)观察图像，观察图像包括衍射图案，以及‑通过将观察图像与至少一个目标图像进行比较，来确定(44)x射线光源的定向和x射线检测器的定向，目标图像包括针对参照样品通过x射线光源的预设定向和x射线检测器的预设定向所获得的衍射图案。
- 具有低原子序数低温标靶的激光生成等离子体照明器-202080075446.4
- 张超;M·弗里德曼;J·基姆;W·舒马克;B·克拉克 - 科磊股份有限公司
- 2020-10-27 - 2022-06-17 - G01N23/20008
- 本文中呈现用于从采用低原子序数低温标靶的激光生成等离子体(LPP)产生X射线照明的方法及系统。将经高度聚焦短持续时间激光脉冲引导到低原子序数经低温冻结标靶，从而点燃等离子体。在一些实施例中，标靶材料包含具有小于19的原子序数的一或多种元素。在一些实施例中，低原子序数低温标靶材料涂覆于经低温冷却桶的表面上，所述经低温冷却桶经配置以相对于入射激光而旋转及平移。在一些实施例中，低原子序数低温LPP光源产生用于测量半导体结构的结构特性及材料特性的在软X射线(SXR)光谱范围内的多谱线或宽带X射线照明。在一些实施例中，利用如本文中所描述的低原子序数低温LPP照明源来执行反射小角度X射线散射测量术测量。
- X射线射束整形装置和方法-202080027081.8
- 米伦·加特什基;亚历山大·哈尔陈科;D·贝克尔斯;尼古拉斯·诺伯格 - 马尔文帕纳科公司
- 2020-04-03 - 2021-11-16 - G01N23/20008
- 一种用在X射线分析设备(40)中的射束整形装置(10)。该射束整形装置处理来自X射线射束源(20)的输入射束(32)，并产生具有输出射束形状的输出射束(34)，用于辐照样本(112)，该样本由X射线分析设备的样本保持器(22)保持。根据样本(112)的倾斜角(χ)的改变来控制输出射束形状的移动，倾斜角由样本保持器(22)的倾斜位置来限定。
- 用于无间隙地一维测量X射线辐射的测量系统-202080015652.6
- J·芬克;C·毛雷尔;L·布莱格曼;C·维南兹 - 布鲁克AXS有限公司
- 2020-02-18 - 2021-09-28 - G01N23/20008
- 本发明概括地提出构造具有多个探测器模块(1、1a‑1g)的X射线探测器(21)，探测器模块分别包括没有X射线敏感性的死区(6)和具有在测量方向(MR)上空间分辨的X射线敏感性的作用区(3、3a‑3c)，各探测器模块(1、1a‑1g)沿测量方向(MR)依次相继且重叠地构造，使得在重叠区域(23a‑23e)中一个探测器模块(1、1a‑1g)的死区(6)被另一个探测器模块(1、1a‑1g)的作用区(3、3a‑3c)桥接。重叠的探测器模块(1、1a‑1g)在重叠区域(23a‑23e)中在横向方向(QR)上并排布置，横向方向(QR)横向于局部测量方向(MR)且横向于至样本位置(91)的局部连接方向(VR)延伸。利用X射线探测器(21)能简单获得在样本位置(91)处的测量样本(96)的无间隙的一维测量信息、尤其是X射线衍射信息。
- 具有改进的反射几何结构的能量分散X射线衍射分析仪-201980075957.3
- 詹姆斯·理查德·蒂克纳;乔尔·奥德怀尔 - 联邦科学和工业研究组织
- 2019-10-15 - 2021-07-23 - G01N23/20008
- 公开了一种用于工艺流或样品中的材料的矿物学分析的在线能量分散X射线衍射(EDXRD)分析仪。该分析仪包括：准直X射线源，用于产生多色X射线的发散束；以及能量分辨X射线检测器；以及基本上X射线透明构件，其具有回转体的形式，该回转体绕该准直X射线源与该能量分辨X射线检测器之间的中心轴圆形对称，X射线透明构件的外表面邻近待分析的材料定位。初级束准直器邻近基本上X射线透明构件设置或设置在基本上X射线透明构件内，以基本上防止从源发射的多色X射线直接透射到检测器。该分析仪被配置为使得多色X射线的发散束被导向该基本上X射线透明构件，并且其中该能量分辨X射线检测器收集由该材料衍射的该X射线束的一部分并且输出包含所收集的衍射X射线的能量信息的信号。
- 用于组合的X射线反射测量术与光电子光谱术的系统及方法-201980007193.4
- A·舒杰葛洛夫;A·库兹涅佐夫;O·可哈达金 - 科磊股份有限公司
- 2019-01-04 - 2020-08-21 - G01N23/20008
- 本文中呈现用于基于组合x射线反射测量术XRR及x射线光电子光谱术XPS测量半导体结构的结构及材料特性的方法及系统。组合XRR及XPS系统包含由XRI测量子系统及XPS测量子系统两者共享的x射线照明源及x射线照明光学器件。此通过同时收集来自晶片的相同区域的XRR测量数据及XPS测量数据而增加处理量及测量精确性。组合XRR及XPS系统通过采用XRR测量数据以改进由所述XPS子系统执行的测量而改进测量精确性且反之亦然。另外，组合XRR及XPS系统实现XRR测量数据及XPS测量数据两者的同时分析以更精确地估计一或多个所关注参数的值。在进一步方面中，独立地控制测量点大小、光子通量、射束形状、射束直径及照明能量中的任一者。
- 专利分类
