专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]具有液膜喷射标靶的激光产生等离子体照明器-CN202080075892.5在审
  • 张超;W·舒马克;J·基姆;M·弗里德曼 - 科磊股份有限公司
  • 2020-10-27 - 2022-06-10 - G01N23/201
  • 本文中呈现用于从采用液膜喷射标靶的激光产生等离子体(LPP)产生X射线照明的方法及系统。将经高度聚焦短持续时间激光脉冲引导到液膜喷射标靶。所述经聚焦激光脉冲与所述膜喷射标靶的相互作用点燃等离子体。在一些实施例中,液膜喷射由会聚毛细管喷嘴或会聚平面腔喷嘴产生。在一些实施例中,标靶材料包含具有相对低原子序数的一或多种元素。在一些实施例中,液膜喷射LPP光源产生用于测量半导体结构的结构特性及材料特性的在软X射线(SXR)光谱范围中的多谱线照明或宽带X射线照明。在一些实施例中,用如本文中所描述的液膜喷射LPP照明源来执行反射小角度X射线散射测量。
  • 具有喷射激光产生等离子体明器
  • [发明专利]用于计量光束稳定的系统及方法-CN201880059813.4有效
  • B·布拉森海姆;N·沙皮恩;M·弗里德曼 - 科磊股份有限公司
  • 2018-09-24 - 2021-12-14 - G01N21/88
  • 本发明描述用于测量样品同时通过旋转偏光器元件来主动稳定经受偏光变化的光学测量光束的方法及系统。通过基于聚焦测量光束点的测量而主动控制光束路径中的光学元件的位置来补偿由旋转偏光器元件诱发的所述聚焦测量光束点的移动。可采用反馈及前馈两种控制方案来减小光束位置误差。在一个方面中,测量系统包含照明光束路径、收集光束路径或照明光束路径及收集光束路径两者中的旋转光学偏光器、光束位置传感器及主动光束补偿元件。由所述光束位置传感器检测光束位置误差,且将控制命令传送到所述主动光束补偿元件以减小测得的光束位置误差。
  • 用于计量光束稳定系统方法

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