[发明专利]用于确定用于对准测量的取样图的系统和方法

摘要

一种用于确定用于对准测量的样本图的系统包含计量工具及控制器。所述控制器定义包含多个测量位置的全取样图。所述控制器引导所述计量工具针对多个样本在所述全取样图的每一测量位置处测量对准以产生参考对准数据集，且所述控制器产生各自为所述全取样图的子集的候选取样图。所述控制器进一步可基于所述两个或多于两个候选取样图在所述全取样图的每一测量位置处依据位置估计对准，且通过比较所述估计对准与所述参考对准数据集且选择具有超过选定容限的最小数目个对准估计的所述候选取样图而确定工作取样图。

主权项

1.一种系统，其包括：计量工具；及控制器，其通信地耦合到所述计量工具，所述控制器包含经配置以执行程序指令的一或多个处理器，所述程序指令经配置以使所述一或多个处理器：定义包含多个测量位置的全取样图；引导所述计量工具针对多个样本在所述全取样图的每一测量位置处测量对准以产生参考对准数据集，其中经测量对准是基于由检测器收集的从所述样本发出的辐射；产生两个或多于两个候选取样图，所述两个或多于两个候选取样图中的每一者是所述全取样图的子集；基于所述两个或多于两个候选取样图定义两个或多于两个候选取样图模型以依据位置估计对准；基于所述两个或多于两个候选取样模型计算两个或多于两个估计对准数据集，其中所述两个或多于两个估计对准数据集包含在所述全取样图的所述多个测量位置处进行的对准估计；及通过比较所述两个或多于两个估计对准数据集与所述参考对准数据集而从所述两个或多于两个候选取样图确定工作取样图，其中所述工作取样图包含超过选定容限的最小数目个对准估计。