[实用新型]应用于水平区熔法生长超高纯锗单晶的设备有效
| 申请号： | 201821879283.1 | 申请日： | 2018-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN209052803U | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 李学洋;董汝昆;普世坤;惠峰;柳廷龙;张朋;钟文;赵燕;滕文 | 申请（专利权）人： | 云南中科鑫圆晶体材料有限公司;昆明云锗高新技术有限公司;云南鑫耀半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/08 | 分类号： | C30B29/08;C30B13/00 |
| 代理公司： | 昆明祥和知识产权代理有限公司 53114 | 代理人： | 施建辉 |
| 地址： | 650000 云南省昆明市高新*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 应用于水平区熔法生长超高纯锗单晶的设备，涉及高纯半导体金属材料的提纯。本实用新型包括石英舟、石英管、高频感应加热线圈、支架、丝杆以及区熔小车，石英舟放置在石英管内，石英管固定在支架上方；高频感应加热线圈设置在区熔小车上，且区熔线圈套装在石英管外；丝杠固定在支架底部，且与石英管平行；区熔小车设置在丝杠上，且沿丝杠滑动；石英舟内壁上涂有硅涂层。本实用新型中，所述的水平区熔法生长锗单晶的装置，能减少锗料的污染环节，使其对高纯的提纯效果更加显著。且该系统装置加工工艺简单，结构科学合理，使用安全可靠，能节省一定的人力物力，有益于推进节能环保的发展。 | ||
| 搜索关键词： | 石英管 石英舟 水平区 锗单晶 支架 高频感应加热线圈 本实用新型 小车 超高纯 丝杠 生长 高纯半导体 金属材料 节能环保 结构科学 人力物力 设备应用 丝杠固定 提纯效果 污染环节 系统装置 线圈套装 滑动 硅涂层 提纯 高纯 内壁 丝杆 锗料 平行 应用 | ||
【主权项】：
1.一种应用于水平区熔法生长超高纯锗单晶的设备，其特征在于该设备包括石英舟（1）、石英管（2）、高频感应加热线圈（3）、支架（4）、丝杆（5）以及区熔小车（6），石英舟（1）放置在石英管（2）内，石英管（2）固定在支架（4）上方；高频感应加热线圈（3）设置在区熔小车（6）上，且区熔线圈套装在石英管（2）外；丝杠固定在支架（4）底部，且与石英管（2）平行；区熔小车（6）设置在丝杠上，且沿丝杠滑动；石英舟（1）内壁上涂有硅涂层。
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