[实用新型]一种图案化蓝宝石基板的蚀刻制程用承载盘

摘要

本实用新型公开了一种图案化蓝宝石基板的蚀刻制程用承载盘，包括承载盘、箱体、通孔、基板、立柱、储液箱、导流管、电磁阀开关、电机、丝杠、滑块、刮板、竖直杆、卡钩、转动杆、第一弹簧、顶杆、固定块、连接板、第二弹簧和电动推杆。该图案化蓝宝石基板的蚀刻制程用承载盘的结构简单，操作方便，通过卡钩对基板进行限位，有利于基板的固定，避免了蚀刻时基板发生偏移而造成刻蚀的失败，提高了刻蚀的精度，且通过顶杆的移动有利于基板的取出，操作方便，降低操作难度；通过刮板对完成刻蚀后的基板进行清理，并通过储液箱同时进行清洗，有利于基板的清洁，减少了操作工序，降低操作量，提高了工作效率。

主权项

1.一种图案化蓝宝石基板的蚀刻制程用承载盘，其特征在于：包括位于承载盘(1)顶端的箱体(2)、固定机构、顶出机构和涂布机构，其中所述承载盘(1)底端开设有通孔(3)，且所述承载盘(1)顶面开设有用于放置基板(4)的凹槽；所述涂布机构包括箱体(2)、储液箱(6)、导流管(7)、电磁阀开关(8)、电机(9)、丝杠(10)、滑块(11)和刮板(12)，所述箱体(2)底端四周与立柱(5)固定连接，所述箱体(2)顶端内部与储液箱(6)固定连接，所述储液箱(6)底端一侧与导流管(7)连通，且所述导流管(7)与电磁阀开关(8)固定连接，所述箱体(2)内部与电机(9)固定连接，所述电机(9)的输出端与丝杠(10)固定连接，且所述丝杠(10)与滑块(11)螺纹连接，所述滑块(11)底端与刮板(12)固定连接；所述固定机构包括承载盘(1)、卡钩(14)、转动杆(15)和第一弹簧(16)，所述承载盘(1)内部与卡钩(14)转动连接，所述卡钩(14)底端与转动杆(15)转动连接，且所述卡钩(14)底端通过第一弹簧(16)与承载盘(1)的内部固定连接；所述顶出机构包括顶杆(17)、固定块(18)、连接板(19)、第二弹簧(20)和电动推杆(21)，所述顶杆(17)与通孔(3)的内部滑动连接，所述顶杆(17)顶端一侧与固定块(18)固定连接，且所述顶杆(17)底端与连接板(19)固定连接，所述连接板(19)通过第二弹簧(20)与承载盘(1)的底面固定连接，所述承载盘(1)底面中部与电动推杆(21)固定连接，且所述承载盘(1)顶端一侧与竖直杆(13)固定连接。