[实用新型]计时盒及离子注入机传片系统有效
| 申请号： | 201821134963.0 | 申请日： | 2018-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN208589420U | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 李东平;马龙 | 申请（专利权）人： | 吉林华微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 唐维虎 |
| 地址： | 132013 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种计时盒及离子注入机传片系统，涉及半导体元器件生产的技术领域，包括箱体，以及安装于箱体中的计时装置、第一压力开关和第一转换接头；计时装置和第一压力开关形成第一回路，第一回路用于控制所述计时装置的开始与停止；第一转换接头连接在第一压力开关的输入端；第一转换接头用于连接离子注入机的第一控制气路。通过第一控制气路产生的气体压力信号，触发第一压力开关，使第一回路对硅片的离子注入时间进行计时，因此计时装置能够监控单筐硅片注入时间的变化，增强了对离子注入机异常的监控，提高了产品的质量和降低产品的废品率。 | ||
| 搜索关键词： | 离子注入机 计时装置 压力开关 转换接头 计时 传片系统 控制气路 硅片 半导体元器件 气体压力信号 本实用新型 输入端 监控 触发 单筐 离子 生产 | ||
【主权项】：
1.一种计时盒，其特征在于，应用于离子注入机传片系统，包括：箱体，以及安装于所述箱体中的计时装置、第一压力开关和第一转换接头；所述计时装置和所述第一压力开关形成第一回路，所述第一回路用于控制所述计时装置的开始与停止；所述第一转换接头连接在所述第一压力开关的输入端；所述第一转换接头用于连接离子注入机的第一控制气路。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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