[实用新型]计时盒及离子注入机传片系统

权利要求书

1.一种计时盒，其特征在于，应用于离子注入机传片系统，包括：箱体，以及安装于所述箱体中的计时装置、第一压力开关和第一转换接头；

所述计时装置和所述第一压力开关形成第一回路，所述第一回路用于控制所述计时装置的开始与停止；

所述第一转换接头连接在所述第一压力开关的输入端；

所述第一转换接头用于连接离子注入机的第一控制气路。

2.根据权利要求1所述的计时盒，其特征在于，还包括安装于所述箱体中的第一继电器、第二继电器、第二压力开关和第二转换接头；

所述第一继电器、所述第二继电器和所述第二压力开关串联并接入电源，形成第二回路；

所述第二转换接头连接在所述第二压力开关的输入端；

所述第二转换接头用于连接离子注入机的第二控制气路。

3.根据权利要求2所述的计时盒，其特征在于，所述计时装置包括：公共端口和复位端口；

所述第一继电器常开触点、所述第二继电器常闭触点串联在所述复位端口与所述公共端口之间，形成第三回路；

所述第二回路和所述第三回路用于控制所述计时装置的复位。

4.根据权利要求3所述的计时盒，其特征在于，所述计时装置还包括暂停端口；

所述暂停端口连接所述第一压力开关的一端，所述公共端口连接所述第一压力开关的另一端。

5.根据权利要求2所述的计时盒，其特征在于，所述计时装置还包括第一电源端口和第二电源端口；

所述第一电源端口用于通过熔断器连接电源的一端；

所述第二电源端口用于连接电源的另一端。

6.根据权利要求1所述的计时盒，其特征在于，所述计时装置还包括显示单元，所述显示单元用于显示计时数值。

7.根据权利要求5所述的计时盒，其特征在于，所述计时装置固定于所述箱体的第一侧板上；

所述第一继电器、所述第二继电器固定于所述箱体的底板上；

所述熔断器、所述第一转换接头和第二转换接头固定于所述箱体的与所述第一侧板相对的第二侧板上。

8.根据权利要求3所述的计时盒，其特征在于，若单筐传片注入开始，所述计时装置进行复位并开始计时；

若单筐传片注入结束，所述计时装置停止计时。

9.根据权利要求1所述的计时盒，其特征在于，所述计时装置为ZN48计时器。

10.一种离子注入机传片系统，其特征在于，包括：靶室、上承片台、上缓冲腔室、上片盒、下缓冲腔室、下承片台、下片盒、第一上阀盖、第一下阀盖、第二上阀盖、第二下阀盖、夹具以及如权利要求1至9任一项所述的计时盒；

所述计时盒通过固定螺丝固定在离子注入机上；

所述承片台的转动气缸包括顶部端口的第一控制气路和底部端口的第二控制气路。