[实用新型]一种镀膜系统

摘要

本申请涉及薄膜太阳能生产技术领域，具体涉及一种镀膜系统。本申请提供的镀膜系统，能够支持对基板镀多个不同种类的膜层，以得到性能更好的具有复合膜层的基板；与现有的镀膜系统相比，本申请提供的镀膜系统在基板上制备多层膜层时基板不用从系统内取出，因此不会与外界大气接触破除真空并暴露大气，能够避免因膜层与空气接触氧化，导致膜层内产生杂质的问题发生，基板上的膜层质量更好；并且相邻两个工艺腔之间设有一个调温腔，通过调温腔调整基板的温度，使基板的温度满足下一个工艺腔制备温度的需求，减少了进入下一个反应腔中的温度调整时间，大大的提高了生产效率、提高产能。

主权项

1.一种镀膜系统，其特征在于，所述镀膜系统包括：传输装置、多个工艺腔和相邻两个所述工艺腔之间设有的调温腔；其中，所述传输装置配置为将基板运输至所述工艺腔和所述调温腔内；每个所述工艺腔配置为通入各自对应的工艺气体以对所述基板进行镀膜；所述调温腔配置为将镀膜后的基板调温至下一个工艺腔对应的指定温度。