[实用新型]发光二极管晶圆的减薄结构

摘要

本实用新型公开了发光二极管晶圆的减薄结构，包括放置台和晶圆，所述放置台的上表面通过四个支撑架共同固定连接有安装架，所述安装架上设有打磨结构，所述放置台的内部开设有第一圆形通孔，所述第一圆形通孔上固定连接有放置架，且放置架上开设有第五圆形通孔，所述放置架上固定连接有电机，所述电机通过转轴固定连接有扇叶，所述放置台上固定连接有放置座，所述放置座上开设有卡槽和第四圆形通孔，且第四圆形通孔和卡槽相互连通，所述转轴的上端穿过第四圆形通孔并固定连接有固定座。优点在于：本实用新型采用空气的流动所形成的负压对晶圆进行固定，不通过与晶圆表面接触进行固定，减小晶圆表面因接触式固定而产生的物理性损伤。

主权项

1.发光二极管晶圆的减薄结构，包括放置台(1)和晶圆(16)，其特征在于，所述放置台(1)的上表面通过四个支撑架(2)共同固定连接有安装架(3)，所述安装架(3)上设有打磨结构，所述放置台(1)的内部开设有第一圆形通孔(7)，所述第一圆形通孔(7)上固定连接有放置架(8)，且放置架(8)上开设有第五圆形通孔，所述放置架(8)上固定连接有电机(9)，所述电机(9)通过转轴(10)固定连接有扇叶(11)，所述放置台(1)上固定连接有放置座(12)，所述放置座(12)上开设有卡槽(13)和第四圆形通孔(22)，且第四圆形通孔(22)和卡槽(13)相互连通，所述转轴(10)的上端穿过第四圆形通孔(22)并固定连接有固定座(15)。