[实用新型]一种LTCC腔体结构基板湿法制作装置有效

专利信息
申请号: 201820806961.5 申请日: 2018-05-28
公开(公告)号: CN208336153U 公开(公告)日: 2019-01-04
发明(设计)人: 赵成刚;李广新;康建宏;陈鲁国;刘齐辉 申请(专利权)人: 广东成电华瓷电子科技有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48
代理公司: 北京卓恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11394 代理人: 陈益思
地址: 523000 广东省东莞市松山*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种LTCC腔体结构基板湿法制作装置,包括流延成型品,所述流延成型品内设有腔体,所述流延成型品由多组所述流延基板组成,且流延基板之间叠加堆放,所述流延基板的一侧表层设有两边沿设有衔接条,且流延基板位于衔接条的正下方开设有衔接凹槽,所述流延基板的中间位置设有通孔。本实用新型通过设置硅橡胶体阻断该部分区域浆料进入,硅橡胶体与流延浆料中的丙烯酸树脂因自身的化学性质相互排斥,流延结束后经过静置、烘干、等静压便可将硅橡胶体轻松取出,该装置制作的基板腔体内壁光滑、平整,且硅橡胶体造价低廉,可根据腔体尺寸需要加工成各种形状,较LTCC干法工艺动辄上千万的设备来说大大降低了设备成本。
搜索关键词: 基板 流延 硅橡胶体 流延成型 本实用新型 腔体结构 衔接条 腔体 丙烯酸树脂 干法工艺 流延浆料 设备成本 衔接凹槽 装置制作 壁光滑 等静压 基板腔 烘干 浆料 通孔 叠加 堆放 平整 取出 排斥 体内 加工
【主权项】:
1.一种LTCC腔体结构基板湿法制作装置,包括流延成型品(1),其特征在于:所述流延成型品(1)内设有腔体(4),所述流延成型品(1)由多组所述流延基板(5)组成,且流延基板(5)之间叠加堆放,所述流延基板(5)的一侧表层设有两边沿设有衔接条(6),且流延基板(5)位于衔接条(6)的正下方开设有衔接凹槽(8),所述流延基板(5)的中间位置设有通孔(7),且流延基板(5)叠加后的通孔(7)形成流延成型品(1)的腔体(4),所述流延成型品(1)的腔体(4)内设有硅橡胶体(2)。
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