[实用新型]一种硅片清洗用周转盘

摘要

本实用新型涉及硅片清洗设备技术领域，且公开了一种硅片清洗用周转盘，包括底座，所述底座的上表面中部开设有电机槽，所述电机槽内固定连接有电机，所述电机槽的上方固定连接有防护框，所述电机的输出端贯穿防护框并延伸至防护框的上方与转轴固定连接，所述转轴的表面中部贯穿有旋转杆，所述旋转杆远离转轴的一端固定连接有转盘，所述转盘的上表面活动连接有周转盘外身，所述周转盘外身内壁的中部固定连接有限位缓冲柱，所述限位缓冲柱包括支撑杆、限位块、第一橡胶垫和第二橡胶垫，所述支撑杆的上表面固定连接限位块，所述限位块的一侧固定连接有第一橡胶垫。该硅片清洗用周转盘，具备摆放方便，清洗简便和防破碎等优点。

主权项

1.一种硅片清洗用周转盘，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上表面中部开设有电机槽(2)，所述电机槽(2)内固定连接有电机(3)，所述电机槽(2)的上方固定连接有防护框(4)，所述电机(3)的输出端贯穿防护框(4)并延伸至防护框(4)的上方与转轴(5)固定连接，所述转轴(5)的表面中部贯穿有旋转杆(6)，所述旋转杆(6)远离转轴(5)的一端固定连接有转盘(7)，所述转盘(7)的上表面活动连接有周转盘外身(8)，所述周转盘外身(8)内壁的中部固定连接有限位缓冲柱(9)，所述限位缓冲柱(9)包括支撑杆(901)、限位块(902)、第一橡胶垫(903)和第二橡胶垫(904)，所述支撑杆(901)的上表面固定连接限位块(902)，所述限位块(902)的一侧固定连接有第一橡胶垫(903)，所述限位块(902)的另一侧固定连接有第二橡胶垫(904)，所述周转盘外身(8)的两侧均固定连接有把手(10)。