[实用新型]一种半导体电阻率测试仪

摘要

本实用新型提供一种半导体电阻率测试仪，包括：信号发生器，第一低通滤波电路，第二低通滤波电路，第三低通滤波电路，恒流源电路，第一乘法电路，第二乘法电路，第一探头，第二探头，AD转换模块，单片机，显示模块，用于获取检测半导体电阻率指令的按键模块，用于给半导体电阻率测试仪内部元件供电的供电电源以及用于将供电电源输出的电压，进行稳压和变压后传输至各个用电元件的供电电路；由于探头获取的测试信号微弱,半导体电阻率测试仪为提高精度测试仪恒流源电路对测试信号进行了运放，而且将测试信号和信号发生器发送至乘法电路的信号进行补偿算法，对测试信号进行调制，降噪，滤波等形式，进行处理，修正,提高了测量精度。

主权项

1.一种半导体电阻率测试仪，其特征在于，包括：信号发生器(1)，第一低通滤波电路(2)，第二低通滤波电路(3)，第三低通滤波电路(4)，恒流源电路(5)，第一乘法电路(6)，第二乘法电路(7)，第一探头(8)，第二探头(9)，AD转换模块(10)，单片机(11)，显示模块(12)，用于获取检测半导体电阻率指令的按键模块(13)，用于给半导体电阻率测试仪内部元件供电的供电电源以及用于将供电电源输出的电压，进行稳压和变压后传输至各个用电元件的供电电路；单片机(11)分别与信号发生器(1)输入端，显示模块(12)输入端连接，单片机(11)分别与按键模块(13)输出端和AD转换模块(10)输出端连接；信号发生器(1)的输出端分别与第一低通滤波电路(2)输入端，第二低通滤波电路(3)输入端和第三低通滤波电路(4)输入端连接；第一低通滤波电路(2)输出端与第一乘法电路(6)第一输入端连接；第二低通滤波电路(3)输出端与恒流源电路(5)输入端连接；恒流源电路(5)输出端分别与第一探头(8)和第二探头(9)连接，第一探头(8)还与第一乘法电路(6)第二输入端连接，第一探头(8)将检测数据传输至第一乘法电路(6)；第二探头(9)还与第二乘法电路(7)第二输入端连接，第二探头(9)将检测数据传输至第二乘法电路(7)；第三低通滤波电路(4)输出端与第二乘法电路(7)第一输入端连接；第一乘法电路(6)输出端和第二乘法电路(7)输出端分别与AD转换模块(10)的输入端连接；信号发生器(1)包括：方波发生电路和正弦波发生电路。