[实用新型]一种半导体电阻率测试仪

说明书

本实用新型提供一种半导体电阻率测试仪，包括：信号发生器，第一低通滤波电路，第二低通滤波电路，第三低通滤波电路，恒流源电路，第一乘法电路，第二乘法电路，第一探头，第二探头，AD转换模块，单片机，显示模块，用于获取检测半导体电阻率指令的按键模块，用于给半导体电阻率测试仪内部元件供电的供电电源以及用于将供电电源输出的电压，进行稳压和变压后传输至各个用电元件的供电电路；由于探头获取的测试信号微弱,半导体电阻率测试仪为提高精度测试仪恒流源电路对测试信号进行了运放，而且将测试信号和信号发生器发送至乘法电路的信号进行补偿算法，对测试信号进行调制，降噪，滤波等形式，进行处理，修正,提高了测量精度。

技术领域

本实用新型涉及半导体电阻率测试领域，尤其涉及一种半导体电阻率测试仪。

背景技术

当前半导体和集成电路制造技术飞速发展，许多新半导体以及集成电路研制出来，而半导体以及集成电路的很多参数都与薄层电阻有关，对半导体材料的电阻率检测是不可或缺的关键步骤，因而需要可靠的测量仪器来研究器件的性能。

目前，对于半导体材料电阻率的测试通常采用直流电位差计、光电检流计、标准电阻等仪器构成来完成测试，这种的测试方法是通过调节电位差计上的各档旋钮开关，使得光电检流计的指针复位到零点,从而读出电位差计上的电阻值,这样的测试工作周期长、读数误差较大,从而直接影响所生产的相关产品的性能，而且测试过程中存在较大的数据噪音，引起测试结果精度较低。

发明内容

为了克服上述现有技术中的不足，本实用新型提供一种半导体电阻率测试仪，包括：信号发生器，第一低通滤波电路，第二低通滤波电路，第三低通滤波电路，恒流源电路，第一乘法电路，第二乘法电路，第一探头，第二探头，AD转换模块，单片机，显示模块，用于获取检测半导体电阻率指令的按键模块，用于给半导体电阻率测试仪内部元件供电的供电电源以及用于将供电电源输出的电压，进行稳压和变压后传输至各个用电元件的供电电路；

单片机分别与信号发生器输入端，显示模块输入端连接，单片机分别与按键模块输出端和AD转换模块输出端连接；

信号发生器的输出端分别与第一低通滤波电路输入端，第二低通滤波电路输入端和第三低通滤波电路输入端连接；

第一低通滤波电路输出端与第一乘法电路第一输入端连接；

第二低通滤波电路输出端与恒流源电路输入端连接；恒流源电路输出端分别与第一探头和第二探头连接，第一探头还与第一乘法电路第二输入端连接，第一探头将检测数据传输至第一乘法电路；

第二探头还与第二乘法电路第二输入端连接，第二探头将检测数据传输至第二乘法电路；

第三低通滤波电路输出端与第二乘法电路第一输入端连接；

第一乘法电路输出端和第二乘法电路输出端分别与AD转换模块的输入端连接；

信号发生器包括：方波发生电路和正弦波发生电路。

优选地，第一低通滤波电路包括：运放芯片U5，电阻R21，电阻R22，电阻R23，电阻R24，电阻R25，电阻R26，电阻R27，电阻R28，电阻R29，电阻R30，电阻R31，电阻R32，电容C21，电容C22，电容C23，电容C24，电容C25，电容C26，电容C27以及电容C28；

运放芯片U5一脚，二脚分别通过电阻R23连接五脚；运放芯片U5三脚分别与电阻R22第二端和电容C22第二端连接；电容C22第一端，电容C23 第一端，电容C24第一端分别接地，电容C23第二端，电容C24第二端，运放芯片U5四脚接+5v电源，电阻R22第一端分别与电阻R21第二端和电容 C21第一端连接；电阻R21第一端接第一低通滤波电路输入端；电容C21第二端和电阻R24第一端接运放芯片U5七脚；电阻R24第二端通过电阻R25 分别与运放芯片U5六脚和电阻R26第一端连接，电阻R26第二端接地；