[实用新型]一种半导体电阻率测试仪

权利要求书

1.一种半导体电阻率测试仪，其特征在于，包括：信号发生器(1)，第一低通滤波电路(2)，第二低通滤波电路(3)，第三低通滤波电路(4)，恒流源电路(5)，第一乘法电路(6)，第二乘法电路(7)，第一探头(8)，第二探头(9)，AD转换模块(10)，单片机(11)，显示模块(12)，用于获取检测半导体电阻率指令的按键模块(13)，用于给半导体电阻率测试仪内部元件供电的供电电源以及用于将供电电源输出的电压，进行稳压和变压后传输至各个用电元件的供电电路；

单片机(11)分别与信号发生器(1)输入端，显示模块(12)输入端连接，单片机(11)分别与按键模块(13)输出端和AD转换模块(10)输出端连接；

信号发生器(1)的输出端分别与第一低通滤波电路(2)输入端，第二低通滤波电路(3)输入端和第三低通滤波电路(4)输入端连接；

第一低通滤波电路(2)输出端与第一乘法电路(6)第一输入端连接；

第二低通滤波电路(3)输出端与恒流源电路(5)输入端连接；恒流源电路(5)输出端分别与第一探头(8)和第二探头(9)连接，第一探头(8)还与第一乘法电路(6)第二输入端连接，第一探头(8)将检测数据传输至第一乘法电路(6)；

第二探头(9)还与第二乘法电路(7)第二输入端连接，第二探头(9)将检测数据传输至第二乘法电路(7)；

第三低通滤波电路(4)输出端与第二乘法电路(7)第一输入端连接；

第一乘法电路(6)输出端和第二乘法电路(7)输出端分别与AD转换模块(10)的输入端连接；

信号发生器(1)包括：方波发生电路和正弦波发生电路。

2.根据权利要求1所述的半导体电阻率测试仪，其特征在于，

第一低通滤波电路(2)包括：运放芯片U5，电阻R21，电阻R22，电阻R23，电阻R24，电阻R25，电阻R26，电阻R27，电阻R28，电阻R29，电阻R30，电阻R31，电阻R32，电容C21，电容C22，电容C23，电容C24，电容C25，电容C26，电容C27以及电容C28；

运放芯片U5一脚，二脚分别通过电阻R23连接五脚；运放芯片U5三脚分别与电阻R22第二端和电容C22第二端连接；电容C22第一端，电容C23第一端，电容C24第一端分别接地，电容C23第二端，电容C24第二端，运放芯片U5四脚接+5v电源，电阻R22第一端分别与电阻R21第二端和电容C21第一端连接；电阻R21第一端接第一低通滤波电路(2)输入端；电容C21第二端和电阻R24第一端接运放芯片U5七脚；电阻R24第二端通过电阻R25分别与运放芯片U5六脚和电阻R26第一端连接，电阻R26第二端接地；

运放芯片U5八脚，九脚分别通过电阻R29连接十二脚；运放芯片U5十脚分别与电阻R28第二端，电容C25第一端连接，电容C25第二端，电容C26第二端，电容C27第二端分别接地，电容C26第一端，电容C27第一端以及运放芯片U5十一脚接-5v电源，电阻R28第一端分别与电阻R27第二端和电容C28第一端连接，电阻R27第一端接第一低通滤波电路(2)输出端；电容C28第二端，电阻R31第二端分别与运放芯片U5十四脚连接；运放芯片U5十三脚分别与电阻R30第一端，电阻R32第一端连接；电阻R32第二端接地，电阻R30第二端与电阻R31第一端连接；

电容C22，电容C23，电容C24，电容C25，电容C26，电容C27起到了将信号发生器(1)发出的信号，出现低频时，能够进入运放芯片U5，出现高频时，把高频噪声接至地，降低高频噪声；

运放芯片U5采用LM324。