[实用新型]一种新型粉体材料表面膜层物理气相沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种新型粉体材料表面膜层物理气相沉积设备，涉及气相沉积技术领域。该新型粉体材料表面膜层物理气相沉积设备，包括外壳，所述外壳的左侧贯穿设置有抽气管，所述外壳内腔的顶部固定连接有磁控溅射靶，所述外壳的右侧固定连接有电机箱，所述电机箱的内腔固定连接有梳砂驱动电机，所述梳砂驱动电机的输出轴通过联轴器固定连接有梳砂转轴，所述梳砂转轴的左端贯穿外壳并延伸至外壳的外部。该新型粉体材料表面膜层物理气相沉积设备，通过梳砂器的改良，以及梳砂驱动电机、梳砂转轴、转盘驱动电机和转盘转轴的配合使用，加强了物理气相沉积设备的工作效率，避免了由于粉体材料翻动效果不佳而导致的气相沉积用时过长。

主权项

1.一种新型粉体材料表面膜层物理气相沉积设备，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)的左侧贯穿设置有抽气管(2)，所述外壳(1)内腔的顶部固定连接有磁控溅射靶(3)，所述外壳(1)的右侧固定连接有电机箱(4)，所述电机箱(4)的内腔固定连接有梳砂驱动电机(5)，所述梳砂驱动电机(5)的输出轴通过联轴器固定连接有梳砂转轴(6)，所述梳砂转轴(6)的左端贯穿外壳(1)并延伸至外壳(1)的外部，所述梳砂转轴(6)的底部且位于外壳(1)的内腔设置有梳砂器(7)，所述外壳(1)的底部固定连接有底座(8)，所述底座(8)的左侧固定连接有控制器(9)，所述底座(8)上镶嵌有转盘驱动电机(10)，所述转盘驱动电机(10)的输出轴通过联轴器固定连接有转盘转轴(11)，所述转盘转轴(11)的顶端贯穿外壳(1)的底部并固定连接有与梳砂器(7)配合设置的装砂转盘(12)，所述控制器(9)分别与磁控溅射靶(3)、梳砂驱动电机(5)和转盘驱动电机(10)电性连接；所述梳砂器(7)包括梳砂外壳(705)，所述梳砂外壳(705)的顶部贯穿设置有连接杆(701)，所述连接杆(701)的顶端与梳砂转轴(6)的底部固定连接，所述连接杆(701)的底端固定连接有位移板(702)，所述梳砂外壳(705)内腔顶部的两侧均固定连接有导向杆(706)，所述导向杆(706)的底端贯穿位移板(702)并固定连接有橡胶板(708)，所述橡胶板(708)的顶部通过导向弹簧(703)与位移板(702)的底部固定连接，且导向弹簧(703)环绕设置于导向杆(706)的表面，所述梳砂外壳(705)上贯穿设置有轮轴(709)，所述轮轴(709)的表面且位于梳砂外壳(705)的内腔套设有梳砂轮(704)。