[实用新型]一种新型粉体材料表面膜层物理气相沉积设备有效
申请号: | 201820194825.5 | 申请日: | 2018-02-05 |
公开(公告)号: | CN207877850U | 公开(公告)日: | 2018-09-18 |
发明(设计)人: | 成林 | 申请(专利权)人: | 昆山浦元真空技术工程有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/54 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 物理气相沉积设备 粉体材料表面 膜层 驱动电机 转轴 气相沉积 电机箱 转盘驱动电机 本实用新型 磁控溅射靶 联轴器固定 粉体材料 工作效率 外壳内腔 转盘转轴 抽气管 梳砂器 输出轴 翻动 贯穿 内腔 用时 左端 改良 外部 延伸 | ||
本实用新型公开了一种新型粉体材料表面膜层物理气相沉积设备,涉及气相沉积技术领域。该新型粉体材料表面膜层物理气相沉积设备,包括外壳,所述外壳的左侧贯穿设置有抽气管,所述外壳内腔的顶部固定连接有磁控溅射靶,所述外壳的右侧固定连接有电机箱,所述电机箱的内腔固定连接有梳砂驱动电机,所述梳砂驱动电机的输出轴通过联轴器固定连接有梳砂转轴,所述梳砂转轴的左端贯穿外壳并延伸至外壳的外部。该新型粉体材料表面膜层物理气相沉积设备,通过梳砂器的改良,以及梳砂驱动电机、梳砂转轴、转盘驱动电机和转盘转轴的配合使用,加强了物理气相沉积设备的工作效率,避免了由于粉体材料翻动效果不佳而导致的气相沉积用时过长。
技术领域
本实用新型涉及气相沉积技术领域,具体为一种新型粉体材料表面膜层物理气相沉积设备。
背景技术
气相沉积技术是利用气相中发生的物理、化学过程,在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层,气相沉积技术按照成膜机理,可分为化学气相沉积、物理气相沉积和等离子体气相沉积。
传统的物理气相沉积设备,工作效率不高,容易出现由于粉体材料翻动效果不佳而导致的气相沉积用时过长,增加成本的同时降低了工作效率,给使用者的使用带来不便。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种新型粉体材料表面膜层物理气相沉积设备,解决了容易出现由于粉体材料翻动效果不佳而导致的气相沉积用时过长的问题。
(二)技术方案
为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种新型粉体材料表面膜层物理气相沉积设备,包括外壳,所述外壳的左侧贯穿设置有抽气管,所述外壳内腔的顶部固定连接有磁控溅射靶,所述外壳的右侧固定连接有电机箱,所述电机箱的内腔固定连接有梳砂驱动电机,所述梳砂驱动电机的输出轴通过联轴器固定连接有梳砂转轴,所述梳砂转轴的左端贯穿外壳并延伸至外壳的外部,所述梳砂转轴的底部且位于外壳的内腔设置有梳砂器,所述外壳的底部固定连接有底座,所述底座的左侧固定连接有控制器,所述底座上镶嵌有转盘驱动电机,所述转盘驱动电机的输出轴通过联轴器固定连接有转盘转轴,所述转盘转轴的顶端贯穿外壳的底部并固定连接有与梳砂器配合设置的装砂转盘,所述控制器分别与磁控溅射靶、梳砂驱动电机和转盘驱动电机电性连接。
所述梳砂器包括梳砂外壳,所述梳砂外壳的顶部贯穿设置有连接杆,所述连接杆的顶端与梳砂转轴的底部固定连接,所述连接杆的底端固定连接有位移板,所述梳砂外壳内腔顶部的两侧均固定连接有导向杆,所述导向杆的底端贯穿位移板并固定连接有橡胶板,所述橡胶板的顶部通过导向弹簧与位移板的底部固定连接,且导向弹簧环绕设置于导向杆的表面,所述梳砂外壳上贯穿设置有轮轴,所述轮轴的表面且位于梳砂外壳的内腔套设有梳砂轮。
优选的,所述梳砂轮的表面设置有毛刷。
优选的,所述位移板的两侧均通过转轴活动连接有位移轮,且位移轮与梳砂外壳的内壁接触。
(三)有益效果
本实用新型提供了一种新型粉体材料表面膜层物理气相沉积设备。具备以下有益效果:该新型粉体材料表面膜层物理气相沉积设备,通过梳砂器的改良,以及梳砂驱动电机、梳砂转轴、转盘驱动电机和转盘转轴的配合使用,加强了物理气相沉积设备的工作效率,避免了由于粉体材料翻动效果不佳而导致的气相沉积用时过长,降低成本的同时提高了工作效率,方便了使用者的使用。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为本实用新型梳砂器的结构示意图。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山浦元真空技术工程有限公司,未经昆山浦元真空技术工程有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820194825.5/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:真空镀膜装置
- 下一篇:一种用于手机指纹接口的PVD治具
- 同类专利
- 专利分类