[实用新型]一种新型粉体材料表面膜层物理气相沉积设备有效
| 申请号： | 201820194825.5 | 申请日： | 2018-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN207877850U | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 成林 | 申请（专利权）人： | 昆山浦元真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 物理气相沉积设备 粉体材料表面 膜层 驱动电机 转轴 气相沉积 电机箱 转盘驱动电机 本实用新型 磁控溅射靶 联轴器固定 粉体材料 工作效率 外壳内腔 转盘转轴 抽气管 梳砂器 输出轴 翻动 贯穿 内腔 用时 左端 改良 外部 延伸 | ||
1.一种新型粉体材料表面膜层物理气相沉积设备，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)的左侧贯穿设置有抽气管(2)，所述外壳(1)内腔的顶部固定连接有磁控溅射靶(3)，所述外壳(1)的右侧固定连接有电机箱(4)，所述电机箱(4)的内腔固定连接有梳砂驱动电机(5)，所述梳砂驱动电机(5)的输出轴通过联轴器固定连接有梳砂转轴(6)，所述梳砂转轴(6)的左端贯穿外壳(1)并延伸至外壳(1)的外部，所述梳砂转轴(6)的底部且位于外壳(1)的内腔设置有梳砂器(7)，所述外壳(1)的底部固定连接有底座(8)，所述底座(8)的左侧固定连接有控制器(9)，所述底座(8)上镶嵌有转盘驱动电机(10)，所述转盘驱动电机(10)的输出轴通过联轴器固定连接有转盘转轴(11)，所述转盘转轴(11)的顶端贯穿外壳(1)的底部并固定连接有与梳砂器(7)配合设置的装砂转盘(12)，所述控制器(9)分别与磁控溅射靶(3)、梳砂驱动电机(5)和转盘驱动电机(10)电性连接；
所述梳砂器(7)包括梳砂外壳(705)，所述梳砂外壳(705)的顶部贯穿设置有连接杆(701)，所述连接杆(701)的顶端与梳砂转轴(6)的底部固定连接，所述连接杆(701)的底端固定连接有位移板(702)，所述梳砂外壳(705)内腔顶部的两侧均固定连接有导向杆(706)，所述导向杆(706)的底端贯穿位移板(702)并固定连接有橡胶板(708)，所述橡胶板(708)的顶部通过导向弹簧(703)与位移板(702)的底部固定连接，且导向弹簧(703)环绕设置于导向杆(706)的表面，所述梳砂外壳(705)上贯穿设置有轮轴(709)，所述轮轴(709)的表面且位于梳砂外壳(705)的内腔套设有梳砂轮(704)。
2.根据权利要求1所述的一种新型粉体材料表面膜层物理气相沉积设备，其特征在于：所述梳砂轮(704)的表面设置有毛刷(710)。
3.根据权利要求1所述的一种新型粉体材料表面膜层物理气相沉积设备，其特征在于：所述位移板(702)的两侧均通过转轴活动连接有位移轮(707)，且位移轮(707)与梳砂外壳(705)的内壁接触。
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