[实用新型]硅基光波导芯片与垂直腔面发射激光器的封装结构有效
| 申请号： | 201820186933.8 | 申请日： | 2018-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN208060764U | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 刘露露;阮子良;张浩;温雪沁;朱运涛;刘柳;陈伟 | 申请（专利权）人： | 苏州易缆微光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;H01S3/02 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 滕诣迪 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅基光波导芯片与垂直腔面发射激光器的封装结构，在绝缘体上硅芯片上制作硅波导结构以及具有倾斜光栅耦合器；再在芯片上沉积一层二氧化硅绝缘层，之后在绝缘层上依次制作金属导线图形和金锡焊点图形。金属导线图形和金锡焊点图形与光栅耦合器的相对位置需要精确控制。最后采用倒装焊接的方式，将垂直腔面发射激光器与硅基光栅耦合器进行对准封装。该结构可以有效的实现激光器与硅基光波导的耦合，实现硅基光源。倾斜光栅耦合器可以有效降低传统光栅耦合器的二阶反射，提高耦合效率，且具有较大的工作波长带宽。该结构大大降低了硅基光源的制作封装难度，可以广泛应用于基于硅基光子集成芯片的光模块中。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直腔面发射激光器 硅基光波导 耦合器 芯片 封装结构 硅基光源 金属导线 倾斜光栅 锡焊点 封装 制作 绝缘层 二氧化硅绝缘层 硅基光栅耦合器 绝缘体上硅芯片 工作波长带宽 硅基光子集成 本实用新型 光栅耦合器 硅波导结构 传统光栅 倒装焊接 二阶反射 耦合效率 激光器 耦合 光模块 沉积 对准 应用 | ||
【主权项】：
1.一种硅基光波导芯片，其特征在于：包括硅衬底、埋氧层，顶硅层，二氧化硅绝缘层、金属导线、焊点、以及垂直腔面发射激光器;从下至上依次排布衬底、埋氧层，顶硅层，二氧化硅绝缘层；所述顶硅层上有硅波导、基于倾斜光栅耦合器，所述倾斜光栅耦合器附近的埋氧层被挖空，因此光栅耦合器的一端与所述硅衬底接触，形成倾斜结构；所述二氧化硅绝缘层之上有所述金属导线，所述金属导线之上有所述焊点。
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- 宋小平;徐红春;刘成刚;岳阳阳;郭浩荣 - 武汉光迅科技股份有限公司
- 2017-08-31 - 2019-09-13 - G02B6/12
- 本发明涉及光模块技术领域，提供了一种多通道EML集成组件及其AWG制作方法。组件包括管壳、温度监控电路和一体式TEC，包括一个共基板的热面和两个独立的冷面，第一冷面承载一热沉，热沉上设置有激光发射芯片；第二冷面承载一AWG，AWG的进光面刻蚀有透镜阵列，AWG中用于传输汇聚后光信号波导段设置有第一凹槽，第一凹槽中设置有SOA芯片；热面固定在管壳的内壁上。本发明提供的多通道EML集成组件，不仅通过采用一体式TEC，将常规分离制作的激光器侧TEC和AWG侧TEC制作成共热面的一体式TEC，从而保证了激光器与AWG之间的耦合精度，并且可以实现无源耦合的目的。
- 一种光波导光束偏转器件及光束偏转方法-201910500389.9
- 薛迎红;曹士奕;林楠 - 华东理工大学
- 2019-06-11 - 2019-09-10 - G02B6/12
- 本发明提供了一种光波导光束偏转器件，包括分光部，将被耦合至光波导中的输入光等分为多路相位相同的分光束；相位延迟部，接收经波导传输的分光束，并将分光束按一定顺序依次梯度增加光程差h，实现各路波导中光的光程依次梯度增加并获得相同的相位差ΔФ；输出部，依次接收经相位延迟部的分光束并使其发生衍射，实现来源于波导结构的光束角度偏转。因为没有外加电压或加热系统的控制，仅仅通过改变入射激光光源波长便可实现大角度、高分辨率的激光光束指向扫描和光束分光功能，该发明设计在激光雷达、光谱分析、信息贮存、显示等领域有着很大的应用潜力。
- 基于单个粒子的梯度相位实现Si波导单向散射的方法-201711334932.X
- 罗先刚;蒲明博;郭迎辉;马晓亮;李雄 - 中国科学院光电技术研究所
- 2017-12-14 - 2019-09-10 - G02B6/12
- 本发明公开了一种基于单个粒子的梯度相位实现Si波导单向散射的方法，用于解决现有的Si波导单向散射依赖于多个结构之间的干涉，且不能实现散射方向切换的问题。该方法通过单个粒子的自旋‑轨道相互作用，在沿波导传播的方向产生符号(正/负)与入射光手性相关的梯度相位，其作用等效为正入射的圆偏振光提供一个横向传播的波矢，从而实现单向散射，通过改变入射光的手性可以实现不同散射方向的切换，避免了对多个结构之间干涉的依赖，使得系统的工作带宽、鲁棒性以及灵活性得到大幅提高。
- 一种减小切缝附加光损耗的阵列波导光栅及方法-201710907117.1
- 张冀;马卫东;凌九红;吴凡;胡家艳 - 武汉光迅科技股份有限公司
- 2017-09-29 - 2019-09-10 - G02B6/12
- 本发明涉及一种光栅及方法，属于光通信技术领域，具体是涉及一种减小切缝附加光损耗的阵列波导光栅及方法。该阵列波导光栅包括：输入波导，输入平板区，阵列波导，输出平板区，输出波导；在平板区具有一段带有周期分段式波导区域。光在周期分段式波导区域传播时，光波的模斑尺寸由小变大，再变小，因此，本发明在平板区上的周期分段式波导区域切缝，切缝产生的附加光损耗低，可以降低对切缝缝宽的要求，降低切缝的工艺难度，提高切缝成品率。
- 用于改善光芯片切割质量的划片刻蚀及光芯片的生产方法及光芯片-201910440226.6
- 布兰特·埃弗雷特·李特尔;尹兵 - 宁波东立创芯光电科技有限公司
- 2019-05-24 - 2019-09-06 - G02B6/12
- 本发明属于光芯片加工领域，涉及一种用于改善光芯片切割质量的划片刻蚀及光芯片的生产方法及光芯片，解决了光芯片切割造成光芯片损伤的问题，通过在晶圆上的划片位置进行深刻蚀，刻穿整个光学层(包括光波导层和包层)，形成划片凹槽，让划片系统仅仅刻蚀晶圆衬底，而不影响光学层，从而有效降低由于晶圆切割导致的光芯片崩边及光芯片破损。
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