[发明专利]一种电磁波辅助固化纳米图形结构的方法在审
| 申请号： | 201811645129.2 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN111383909A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 李勇滔;景玉鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;H01L21/268;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电磁波辅助固化纳米图形结构的方法，所述方法包括，将经显影后的晶圆放置于去离子水溶液中，用去离子水溶液置换出显影液；将置换完成的晶圆固定在微波干燥腔室内的载片台上；旋转载片台，对晶圆进行离心甩干，同时启动真空泵组，将腔室内的水汽排除至腔室外；停止旋转载片台，启动微波功率源将微波功率完全施加至微波干燥腔室内，对晶圆上的纳米图形结构进行微波干燥固化，直至晶圆上的水分完全去除，关闭微波功率源和真空泵组，取出晶圆。本发明电磁波辅助固化纳米图形结构的方法能够有效彻底地清除晶圆上的水分，进而干燥固化纳米图形结构，并且固化过程不会导致这些纳米图形结构塌陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电磁波 辅助 固化 纳米 图形 结构 方法 | ||
【主权项】：
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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