[发明专利]一种电磁波辅助固化纳米图形结构的方法在审
| 申请号： | 201811645129.2 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN111383909A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 李勇滔;景玉鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;H01L21/268;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电磁波 辅助 固化 纳米 图形 结构 方法 | ||
1.一种电磁波辅助固化纳米图形结构的方法，其特征在于，所述方法包括：
将经显影后具有纳米图形结构的晶圆放置于去离子水溶液中，用所述去离子水溶液置换出所述晶圆上的显影液；
将置换完成的所述晶圆放置在微波干燥腔室内的载片台上，开启真空吸附装置，将所述晶圆固定在所述载片台上；
旋转所述载片台，对所述晶圆进行离心甩干，同时启动真空泵组，将所述微波干燥腔室内的水汽排除至所述微波干燥腔室外；
停止旋转所述载片台，启动微波功率源，通过微波耦合匹配器将微波功率完全施加至所述微波干燥腔室内，对所述晶圆上的纳米图形结构进行微波干燥固化，以使得所述晶圆上的纳米图形结构内的水分完全去除；
关闭所述微波功率源和所述真空泵组，对所述晶圆进行进一步干燥固化后，取出所述晶圆。
2.根据权利要求1所述的电磁波辅助固化纳米图形结构的方法，其特征在于，所述关闭所述微波功率源和所述真空泵组，对所述晶圆进行进一步干燥固化，包括：
开启所述微波干燥腔室内的紫外固化灯，通过对所述晶圆上的纳米图形结构进行辐照，对所述晶圆进行进一步干燥固化。
3.根据权利要求2所述的电磁波辅助固化纳米图形结构的方法，其特征在于：所述载片台的旋转离心甩干的工作时间长度为5分钟至30分钟；所述微波功率源的工作时间长度为5分钟至100分钟；所述紫外固化灯的工作时间长度为5分钟至30分钟。
4.根据权利要求1所述的电磁波辅助固化纳米图形结构的方法，其特征在于：所述微波功率源通过所述微波耦合匹配器施加至所述微波干燥腔室内的微波功率为100W至5000W。
5.根据权利要求4所述的电磁波辅助固化纳米图形结构的方法，其特征在于：所述微波功率源施加至所述微波干燥腔室的微波频率为900MHz至13GHz。
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