[发明专利]一种多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置

摘要

本发明涉及金刚石膜生长领域，尤其涉及一种多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置。该装置主要包括：绝缘层一、导电层一、内孔工件、气体喷淋头、热丝一、气体喷淋环、热丝二、基片、导电层二、绝缘层二、反应腔体、外部气源、直流加热电源二、直流加热电源一、偏压电源一、偏压电源二、调速电机、抽真空系统、水冷样品台二、水冷样品台一、真空测控系统等。本发明既可以实现在工件内孔快速、均匀沉积金刚石薄膜，又可以实现在大面积基片上快速、均匀沉积金刚石薄膜，沉积时反应气体消耗量低，沉积过程中能测控热丝的温度、工件表面的温度和反应腔内的压强，能准确控制金刚石薄膜沉积各项主要工艺参数，工艺重复性好。

主权项

1.一种多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置，其特征在于，该装置包括：绝缘层一、导电层一、内孔工件、气体喷淋头、热丝一、气体喷淋环、热丝二、基片、导电层二、绝缘层二、反应腔体、外部气源、水冷样品台一、水冷样品台二，具体结构如下：装置设有密闭的反应腔体，反应腔体内按功能分成上下两部分：上部分在内孔工件内部沉积金刚石薄膜，下部分在基片上沉积金刚石薄膜；反应腔体上部分的一侧设有气体喷淋头，气体喷淋头通过管路与外部气源连接；反应腔体内上部设有中空的水冷样品台一，水冷样品台一的中空部分由外向内依次设有绝缘层一、导电层一、内孔工件、热丝一；反应腔体内中部设有气体喷淋环，气体喷淋环通过管路与外部气源连接，气体喷淋环下方于反应腔体内的中下部，沿水平方向平行依次布置热丝二、基片、导电层二、绝缘层二、水冷样品台二，热丝二位于气体喷淋环下方与基片上方之间，基片、导电层二、绝缘层二叠放于水冷样品台二上。