[发明专利]一种晶圆缺陷扫描方法

摘要

本发明提供了一种晶圆缺陷扫描方法，首先，根据采集到的晶圆表面的光学图像获取像素网格，获取所述像素网格的灰阶值并划分出灰阶值区间，然后，将所述灰阶值区间与图形密度数据区间进行组合，得到阶梯式灵敏度区域，最后，对所述阶梯式灵敏度区域进行阶梯式缺陷扫描。与现有的缺陷扫描方法相比，该方法可以对缺陷扫描区域进行快速准确的划分，减少了人为操作失误，提高了晶圆缺陷扫描的准确性；进一步的，该方法减少了生产成本，提高了工作效率，改善机台产能。

主权项

1.一种晶圆缺陷扫描方法，其特征在于，包括以下步骤：采集晶圆表面的光学图像；将所述光学图像转换为像素网格；处理所述像素网格表现出的灰阶值，得出灰阶图像；根据所述灰阶图像中的相似灰阶分布，界定所述相似灰阶的灰阶值区间，从而在所述晶圆表面分类出不同材质的区域；将所述灰阶值区间与晶圆表面的图形密度数据区间组合，在晶圆表面形成阶梯式灵敏度区域，并进行阶梯式缺陷扫描。