[发明专利]蚀刻剂组合物和使用该蚀刻剂组合物制造显示装置的方法有效
| 申请号： | 201811389156.8 | 申请日： | 2018-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN109811344B | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 朴种熙;金真锡;李凤源;金基泰;金奎佈;申贤哲;李大雨;李秉雄;李相赫 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司;株式会社东进世美肯 |
| 主分类号： | C23F1/30 | 分类号： | C23F1/30;C23F1/16;C09K13/06;H01L51/56;H01L51/52;H01L27/32 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 程月;刘灿强 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种蚀刻剂组合物和使用该蚀刻剂组合物制造显示装置的方法。所述蚀刻剂组合物相对于蚀刻剂组合物的总重量包括约8.5wt％至约10wt％的无机酸化合物、约1wt％至约10wt％的硫酸氢盐化合物、约50wt％至约60wt％的有机酸化合物、约1wt％至约5wt％的磺酸化合物、约1wt％至约5wt％的螯合物和作为余量的水。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 使用 制造 显示装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蚀刻剂组合物，所述蚀刻剂组合物包括无机酸化合物、硫酸氢盐化合物、磺酸化合物、有机酸化合物和水，其中，所述蚀刻剂组合物包括相对于所述蚀刻剂组合物的总重量的50wt％至60wt％的所述有机酸化合物。
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