[发明专利]具有应力调节件的互连基板、其覆晶组件及其制作方法在审
申请号: | 201811328294.5 | 申请日: | 2018-11-08 |
公开(公告)号: | CN111162053A | 公开(公告)日: | 2020-05-15 |
发明(设计)人: | 林文强;王家忠 | 申请(专利权)人: | 钰桥半导体股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L21/48;H01L21/60 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 中国台湾台北*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种具有应力调节件的互连基板、其覆晶组件及其制作方法。本发明的互连基板主要包含第一线路层、垂直连接件、应力调节件、缓冲层及树脂层。该树脂层接合应力调节件的侧壁及垂直连接件的侧面,且垂直连接件侧向环绕应力调节件。第一线路层包括位于缓冲层中的互连垫及位于树脂层中的路由线。路由线与互连垫一体成型,且路由线电性耦接至垂直连接件。互连垫重叠于应力调节件上方,并通过缓冲层与应力调节件保持距离,据此,用于连接组件的凸块可接置于应力调节件所覆盖的区域,以避免凸块裂损。 | ||
搜索关键词: | 具有 应力 调节 互连 组件 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
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