[发明专利]具有应力调节件的互连基板、其覆晶组件及其制作方法在审

专利信息
申请号: 201811328294.5 申请日: 2018-11-08
公开(公告)号: CN111162053A 公开(公告)日: 2020-05-15
发明(设计)人: 林文强;王家忠 申请(专利权)人: 钰桥半导体股份有限公司
主分类号: H01L23/498 分类号: H01L23/498;H01L21/48;H01L21/60
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 任岩
地址: 中国台湾台北*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明公开了一种具有应力调节件的互连基板、其覆晶组件及其制作方法。本发明的互连基板主要包含第一线路层、垂直连接件、应力调节件、缓冲层及树脂层。该树脂层接合应力调节件的侧壁及垂直连接件的侧面,且垂直连接件侧向环绕应力调节件。第一线路层包括位于缓冲层中的互连垫及位于树脂层中的路由线。路由线与互连垫一体成型,且路由线电性耦接至垂直连接件。互连垫重叠于应力调节件上方,并通过缓冲层与应力调节件保持距离,据此,用于连接组件的凸块可接置于应力调节件所覆盖的区域,以避免凸块裂损。
搜索关键词: 具有 应力 调节 互连 组件 及其 制作方法
【主权项】:
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