[发明专利]一种半导体器件加工用芯片清洗装置

摘要

本发明涉及半导体领域，具体地，涉及一种半导体器件加工用可旋转的定位装置，包括机身、警报装置、连杆机构、药剂池、蒸馏水池、叉形升降器和滑轨机构，所述机身呈水平设置，所述警报装置包括计时器和警报器并且均设在机身顶端的一侧，连杆机构、药剂池、蒸馏水池、叉形升降器和滑轨机构均设在机身内侧，所述药剂池、蒸馏水池沿水平方向呈直线排列设置在机身内部，叉形升降器竖直设置在机身的内侧顶部，并且药剂池设置在叉形升降器的顶部，滑轨机构呈水平设置在机身的内壁上，蒸馏水池能够水平移动的设置在机身内壁上，本发明达到了消除芯片表面细菌和污染物的效果，从而提高了芯片的品质。

主权项

1.一种半导体器件加工用可旋转的定位装置，其特征在于：包括机身(1)、警报装置(2)、连杆机构、药剂池(3)、蒸馏水池(4)、叉形升降器(5)和滑轨机构，所述机身(1)呈水平设置，所述警报装置(2)包括计时器和警报器并且均设在机身(1)顶端的一侧，连杆机构、药剂池(3)、蒸馏水池(4)、叉形升降器(5)和滑轨机构均设在机身(1)内侧，所述药剂池(3)、蒸馏水池(4)沿水平方向呈直线排列设置在机身(1)内部，连杆机构呈竖直状态插设在机身(1)的内侧底部，连杆机构包括柱形防护罩(6)、顶杆(7)、限位套(8)、芯片篮(9)和翘杆(10)，柱型防护罩呈竖直状态设置在机身(1)内部，限位套(8)呈竖直状态设置在柱型防护罩的内部，顶杆(7)呈竖直并且能够升降的插设于限位套(8)中，限位套(8)的顶部外壁上固定设置有一个倾斜杆(11)，倾斜杆(11)的上端与翘杆(10)的中部铰接，下端与限位套(8)的外壁固定连接，芯片篮(9)固定设置在翘杆(10)远离柱型防护罩的一端，翘杆(10)靠近柱型防护罩的一端与顶杆(7)的顶部铰接，芯片篮(9)位于药剂池(3)的内侧顶部，叉形升降器(5)竖直设置在机身(1)的内侧顶部，并且药剂池(3)设置在叉形升降器(5)的顶部，滑轨机构呈水平设置在机身(1)的内壁上，蒸馏水池(4)能够水平移动的设置在机身(1)内壁上。