[发明专利]基于纳米复制成型的柔性光子晶体传感器及制备方法在审
| 申请号： | 201811159635.0 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN109164524A | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 彭望;吴豪;尹周平 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B1/10 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 曹葆青;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于光电器件技术领域，并具体公开了基于纳米复制成型的柔性光子晶体传感器及制备方法，所述方法包括，S1、制备光子晶体光栅模板；S2、硅模板光栅表面处理；S3、柔性光栅基底成型；S4、柔性光栅基底剥离；S5、沉积高折射率材料层，形成柔性可拉伸光子晶体传感器。所述传感器包括柔性光栅基底层和高折射率光栅层，柔性光栅包括呈周期交替排列的光栅凹槽和光栅凸台，所述光栅凹槽和光栅凸台的上表面均沉积有高折射率材料层。本发明成功的解决了传统的光子晶体传感器不具备柔性和可拉伸性的不足之处，为柔性光子晶体器件在机器人触觉感知领域的应用提供了基础，制备工艺简单，耗时短，成本低、适应性强、检测精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅 光子晶体传感器 高折射率材料层 成型 光栅凹槽 纳米复制 基底 凸台 沉积 制备 光子晶体器件 制备光子晶体 机器人触觉 高折射率 光电器件 光栅表面 光栅模板 可拉伸性 应用提供 制备工艺 周期交替 传统的 光栅层 硅模板 基底层 上表面 传感器 拉伸 感知 耗时 剥离 检测 成功 | ||
【主权项】：
1.基于纳米复制成型的柔性光子晶体传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、制备光子晶体光栅模板：在硅片上刻蚀周期性光栅图案，得到硅模板光栅；S2、硅模板光栅表面处理：将硅模板光栅置于疏水硅烷中浸泡后，进行清洗，得到具有表面疏水性的硅模板光栅；S3、柔性光栅基底成型：将未固化的质量比为11:1～9:1的预聚体与固化剂旋涂在硅模板光栅表面，并加热固化，形成PDMS纳米光栅；S4、柔性光栅基底剥离：将固化的PDMS纳米光栅从硅片模板上剥离得到柔性光栅基底；S5、沉积高折射率材料层：在柔性光栅基底的表面沉积高折射率材料层，形成柔性可拉伸光子晶体传感器。
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- 2018-12-29 - 2019-10-01 - G02B5/18
- 本实用新型公开了一种双向非对称光栅片以及照明系统，其中双向非对称光栅片包括本体和纹路层，所述纹路层位于本体的一侧，在所述纹路层上对称的设有多个形状固定的纹路结构，以使得所述纹路层的C0°‑C180°横截面上为对称的波浪纹路，以及纹路层的C90°‑C270°横截面上为非对称的锯齿纹路。本实用新型的光栅片在C0°‑C180°方向上采用采用对称波浪纹设计，将光线向两端对称扩散，在C90°‑C270°方向上采用非对称锯齿纹路设计，将光线向单方向扩散，从而实现良好的截光效果，解决了常规景观灯具的眩光问题，可广泛应用于光学元件领域。
- 一种采用双刀无空行程进行机械刻划衍射光栅的方法-201910608513.3
- 石广丰;史潮潮;史国权 - 长春理工大学
- 2019-07-10 - 2019-09-27 - G02B5/18
- 本发明公开了一种采用双刀无空行程进行机械刻划衍射光栅的方法，其特征在于，两把具有相同结构参数的刻刀反向、斜错安装于同一刀架上，并分别具有单独的抬刀、落刀运动功能，沿同一刻划方向的两把刻刀安装角度相同(其中俯仰角相反)，在落刀前具有相同的初始高度，双刀随着刀架刻划运动时只有一个刻刀参与刻划，一把刻刀负责正向刻划，另一把斜错刻刀负责一个横向槽距位置处的反向刻划，然后刀架统一横向进给两个槽距进行下一周期正反刻划，从而使得整个刻划过程中没有空行程产生并减少了一半横向进给次数，能够在保证原有刻划质量的前提下，有效减少机械刻划衍射光栅所需要的时间，提高机械刻划衍射光栅的工作效率，降低生产成本。
- 等离激元装置-201880009037.7
- 纳贾拉詹·苏布拉马尼亚姆;马尔库·索潘恩;埃利娜·伊科宁;安蒂·伊索迈基;西蒙·普菲斯特雷尔 - 阿尔托大学基金会;赫尔辛基大学
- 2018-01-30 - 2019-09-27 - G02B5/18
- 一种等离激元装置(100)，增强位于该装置的表面上或表面附近的样本中的光学过程，包括衬底(001)以及等离激元结构(008)。等离激元结构(008)有利地包括全金属层(003)以及与全金属层(003)连接的金属光栅(004)。此外，等离激元装置(100)可以包括衬底(001)与等离激元结构(003、004)之间的可选的粘合层(002)，和/或全金属层(003)或金属光栅(004)上方的可选的保护层()。
- 一种基于希腊梯子光子筛的变焦成像方法-201810219422.6
- 徐守英;张军勇;周申蕾;林尊琪;朱健强;冀胜哲;张偲敏 - 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 2018-03-16 - 2019-09-24 - G02B5/18
- 一种基于希腊梯子光子筛的变焦成像方法，变焦成像的主要器件是希腊梯子光子筛，所述的希腊梯子光子筛是一种能够实现三维阵列成像的衍射光学元件。本发明可以实现相干光场下从x射线到太赫兹波段的固定系统离散化变焦，通过设计光子筛可以实现离轴成像，增加了光路设计的自由度。这种器件将很可能应用于变焦系统、人工晶状体、x射线显微技术、太赫兹成像和光学捕获等领域。
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