[发明专利]电感结构在审
| 申请号： | 201811107158.3 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN110943072A | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 廖健男;苏泊沅;张睿钧 | 申请（专利权）人： | 世界先进积体电路股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王天尧;任默闻 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电感结构，包括：一基板；一第一介电层，形成于该基板上；一第一金属层，形成于该第一介电层中；一第二介电层，形成于该第一介电层上；一第二金属层，形成于该第二介电层中；至少一中间介电层，形成于该第一介电层与该第二介电层之间；至少一中间金属层，形成于该至少一中间介电层中；以及多个通孔，连接该第一金属层与该至少一中间金属层，以及连接该第二金属层与该至少一中间金属层，其中该第一金属层、该通孔、该至少一中间金属层、该通孔、该第二金属层、该通孔、以及该至少一中间金属层形成一延伸路径，该延伸路径以该第一金属层为一延伸起点，依螺旋方式延伸。本发明提供的电感结构线宽大、占用面积低。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 结构 | ||
【主权项】：
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