[发明专利]基于小波域相位提取的缺陷检测方法及检测装置在审
| 申请号： | 201811099993.7 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN110174422A | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 周仲兴;徐加明;李水能 | 申请（专利权）人： | 立讯精密工业（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/041 | 分类号： | G01N23/041 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 215324 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于小波域相位提取的缺陷检测方法及检测装置。检测方法包括：(1)设置同轴相衬成像参数，所述成像参数包括光源到待成像物体的距离L1、待成像物体到探测器的距离L2；(2)设置放射成像系统的曝光参数，获得所述放射成像系统的系统点扩散函数h(x，y)及其曲线；(3)放置待成像物体，并在所述成像参数条件下对所述待成像物体成像，获得成像结果IN(x，y)；(4)根据所述成像结果IN(x，y)对归一化相衬图像g(I)进行小波变换，获得所述归一化相衬图像g(I)的相位抽取结果；(5)根据所述相位抽取结果，计算得到所述待成像物体的相位信息图像。 | ||
| 搜索关键词： | 待成像物体 放射成像系统 成像参数 成像结果 检测装置 缺陷检测 相位提取 归一化 小波域 图像 抽取 点扩散函数 曝光参数 相衬成像 相位信息 小波变换 探测器 同轴 成像 光源 检测 | ||
【主权项】：
1.一种基于小波域相位提取的缺陷检测方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)设置同轴相衬成像参数，所述成像参数包括光源到待成像物体的距离L1、待成像物体到探测器的距离L2；(2)设置放射成像系统的曝光参数，获得所述放射成像系统的系统点扩散函数h(x，y)及其曲线，其中，x，y是空间位置坐标；(3)放置待成像物体，并在所述成像参数、所述曝光参数条件下对所述待成像物体成像，获得成像结果IN(x，y)，其中，x，y是空间位置坐标；(4)根据所述成像结果IN(x，y)、所述系统点扩散函数h(x，y)对归一化相衬图像g(I)进行变换，获得所述归一化相衬图像g(I)的相位抽取结果；(5)根据所述相位抽取结果，计算得到所述待成像物体的相位信息图像；其中，对步骤(4)中的所述归一化相衬图像进行小波变换。
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