[发明专利]稳定的化学镀铜组合物和在衬底上化学镀铜的方法有效
| 申请号： | 201811049174.1 | 申请日： | 2018-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN109628915B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | A·M·里夫希茨阿莱比奥;D·E·克利里 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C18/40 | 分类号： | C23C18/40 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 向化学镀铜组合物中添加所选的羧甲基硫基化合物来改进所述化学镀铜组合物的稳定性，使得即使在低镀覆温度和高稳定剂浓度以及高浸出催化剂浓度下进行化学镀覆时，所述化学镀铜组合物的镀覆活性也不会受到损害。 | ||
| 搜索关键词： | 稳定 化学 镀铜 组合 衬底 方法 | ||
【主权项】：
1.一种化学镀铜组合物，其包括一种或多种铜离子源；一种或多种具有下式的羧甲基硫基化合物：![]()
其中R是选自由吡啶基和二羧基乙基组成的群组的部分；一种或多种络合剂；一种或多种还原剂；以及，任选地，一种或多种pH调节剂，其中所述化学镀铜组合物的pH值大于7。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
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