[发明专利]一种晶圆抛光设备

摘要

本发明涉及晶圆制造附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆抛光设备，方便进行高度调节；容易进行横向移动；电动打磨；包括工作台、夹紧设备和一组抛光轮；还包括下底座、上底座、上螺纹杆、上固定块、下固定块、第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆、第四连接杆、一组上固定销、一组下固定销、左固定销、右固定销、过渡杆、长方体柱、卡紧环和圆环；还包括垫板、一组滑块、一组滚珠、下螺纹杆、左支撑杆、右支撑杆、把手、左限位板和右限位板；还包括上支架、一组下支架、第一传动轴、第二传动轴、第三传动轴、第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮和一组左支架。

主权项

1.一种晶圆抛光设备，包括工作台（1）、夹紧设备（2）和一组抛光轮（3），夹紧设备（2）顶侧壁与工作台（1）顶侧壁连接，一组抛光轮（3）均位于工作台（1）上方；其特征在于，还包括下底座（4）、上底座（5）、上螺纹杆（6）、上固定块（7）、下固定块（8）、第一连接杆（9）、第二连接杆（10）、第三连接杆（11）、第四连接杆（12）、一组上固定销（13）、一组下固定销（14）、左固定销（15）、右固定销（16）、过渡杆（17）、长方体柱（18）、卡紧环（19）和圆环（20），所述下底座（4）顶侧壁和工作台（1）底侧壁连接，所述上固定块（7）顶侧壁和下固定块（8）底侧壁分别与上底座（5）底侧壁和下底座（4）顶侧壁连接，所述上固定块（7）底侧壁和下固定块（8）顶侧壁分别设置有上放置槽和下放置槽，上放置槽与上固定块（7）左侧壁和右侧壁连通，下放置槽与下固定块（8）左侧壁和右侧壁连通，所述下固定块（8）左半区域和右半区域分别设置有一组下放置孔，一组下放置孔均与下放置槽连通，所述第三连接杆（11）右侧壁和第四连接杆（12）左侧壁分别设置有第一连接槽和第二连接槽，第一连接槽与第三连接杆（11）顶侧壁和底侧壁连通，第二连接槽与第四连接杆（12）顶侧壁和底侧壁连接，所述第三连接杆（11）与第四连接杆（12）上半区域和下半区域分别设置有一组上固定孔和一组下固定孔，所述一组下固定销（14）分别穿过一组下放置孔和一组下固定孔，所述上固定块（7）左半区域和右半区域分别设置有一组上放置孔，一组上放置孔均与上放置槽连通，所述第一连接杆（9）右侧壁和第二连接杆（10）左侧壁分别设置有第三连接槽和第四连接槽，第三连接槽与第一连接杆（9）顶侧壁和底侧壁连通，第四连接槽与第二连接杆（10）顶侧壁和底侧壁连通，所述第一连接杆（9）与第二连接杆（10）上半区域和下半区域分别设置有一组上紧固孔和一组下紧固孔，所述一组上固定销（13）分别穿过一组上紧固孔和一组上放置孔，所述左固定销（15）和右固定销（16）分别穿过一组下紧固孔和一组上固定孔，所述左固定销（15）和右固定销（16）中央区域分别横向设置有左伸缩孔和右伸缩孔，左伸缩孔内侧壁上设置有与上螺纹杆（6）外螺纹相对应的内螺纹，所述上螺纹杆（6）螺装穿过左固定销（15），所述过渡杆（17）左侧壁与上螺纹杆（6）右侧壁连接，所述过渡杆（17）右侧壁上设置有四边形槽，所述长方体柱（18）右侧壁与圆环（20）左侧壁连接，所述长方体柱（18）左端插入到四边形槽内，所述卡紧环（19）内侧壁与过渡杆（17）右半区域连接，卡紧环（19）左侧壁与右固定销（16）右侧壁接触；还包括垫板（21）、一组滑块（22）、一组滚珠（23）、下螺纹杆（24）、左支撑杆（25）、右支撑杆（26）、把手（27）、左限位板（28）和右限位板（29），所述垫板（21）位于下底座（4）下方，所述一组滑块（22）底侧壁分别与垫板（21）顶侧壁前半区域和后半区域连接，所述下底座（4）底侧壁设置有一组方形槽，一组方形槽顶侧壁分别设置有一组上弧形槽，所述一组滑块（22）顶侧壁设置有一组下弧形槽，一组滑块（22）上半区域分别插入到一组方形槽内，所述一组滚珠（23）分别位于一组上弧形槽内和一组下弧形槽内，所述左支撑杆（25）和右支撑杆（26）底侧壁分别与下底座（4）顶侧壁右端和垫块顶侧壁右端连接，所述左支撑杆（25）中央区域和右支撑杆（26）上半区域分别设置有左支撑孔和右支撑孔，右支撑孔内侧壁上设置有与下螺纹杆（24）外螺纹相对应的内螺纹，所述下支撑杆螺装穿过右支撑孔，下支撑杆穿过左支撑孔，所述下螺纹杆（24）左侧壁与左限位板（28）右侧壁中央区域连接，所述右限位板（29）中央区域横向设置有衔接孔，所述右限位挡板内侧壁与下螺纹杆（24）左半区域外侧壁连接，所述把手（27）底侧壁与下螺纹杆（24）外侧壁右端连接；还包括上支架（30）、一组下支架（31）、第一传动轴（32）、第二传动轴（33）、第三传动轴（34）、第一齿轮（35）、第二齿轮（36）、第三齿轮（37）和一组左支架（38），所述一组下支架（31）顶侧壁分别与上支架（30）底侧壁左端和右端连接，所述上支架（30）上方设置有电机（39），所述一组左支架（38）左侧壁和右侧壁分别与电机（39）外侧壁和上支架（30）顶侧壁连接，所述上支架（30）顶侧壁设置有一组抛光槽，所述上支架（30）纵向设置有一组抛光孔，一组抛光孔分别与一组抛光槽连通，所述上支架（30）中央区域纵向设置有贯穿孔，所述第一传动轴（32）安装在电机（39）输出端，第一传动轴（32）底侧壁穿过贯穿孔，所述第一传动轴（32）中央区域设置有第一齿轮（35），第一齿轮（35）内侧壁与第一传动轴（32）外侧壁连接，所述一组抛光槽内分别设置有一组滚珠轴承（40），所述第二传动轴（33）和第三传动轴（34）顶端分别穿过一组滚珠轴承（40），并且第二传动轴（33）和第三传动轴（34）顶端分别与一组滚珠轴承（40）键连接，所述第二传动轴（33）和第三传动轴（34）上半区域分别设置有第二齿轮（36）和第三齿轮（37），第二齿轮（36）和第三齿轮（37）内侧壁分别与第二传动轴（33）和第三传动轴（34）外侧壁连接，所述第二齿轮（36）和第三齿轮（37）均与第一齿轮（35）啮合连接，所述一组抛光轮（3）分别安装在第二传动轴（33）和第三传动轴（34）底部。