[发明专利]化学气相沉积制备碳化硅海绵的装置有效
| 申请号： | 201810694371.2 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN108715449B | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 杨泰生;刘海林;霍艳丽;陈玉峰;唐婕;胡利明 | 申请（专利权）人： | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/977 | 分类号： | C01B32/977;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 100024*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种化学气相沉积制备碳化硅海绵的装置，涉及碳化硅制备技术领域。主要采用的技术方案为：腔体，所述腔体的顶部设置有进气装置，所述腔体的底部设置有出气装置；支撑板，所述支撑板的中部设置有通道，所述支撑板上均布有多个通气孔，所述支撑板与所述腔体的内壁连接将所述腔体分割成上腔体和下腔体；隔离体，所述隔离体为无上下底的筒体，所述筒体的开口形状及大小与所述通道的形状和大小相同，并与所述通道连接，所述筒体的另一端悬置，所述隔离体与所述上腔体的内壁围成一环状空间。本发明提供的化学气相沉积制备碳化硅海绵的装置，能够直接制备出碳化硅海绵，简化了碳化硅海绵的制备过程，降低了碳化硅海绵的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 沉积 制备 碳化硅 海绵 装置 | ||
【主权项】：
1.一种化学气相沉积制备碳化硅海绵的装置，其特征在于，其包括：腔体，所述腔体的顶部设置有进气装置，所述腔体的底部设置有出气装置；支撑板，所述支撑板的中部设置有通道，所述支撑板上均布有多个通气孔，所述支撑板与所述腔体的内壁连接将所述腔体分割成上腔体和下腔体；隔离体，所述隔离体为无上下底的筒体，所述筒体的开口形状及大小与所述通道的形状和大小相同，并与所述通道连接，所述筒体的另一端悬置，所述隔离体与所述上腔体的内壁围成一环状空间。
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