[发明专利]一种基于micro LED技术的新型微显示器件及其制造方法

摘要

本发明涉及一种基于micro LED技术的新型微显示器件及其制造方法，所述新型微显示器件采用硅基+micro LED的结构，在硅基上直接形成像素驱动电路，然后在上层制备微型化的micro LED阵列，形成一个个的像素单元，每个像素单元单独驱动以形成图像，并采用石墨烯材料制备电极层和防眩防护层；所述制造方法包括A)集成电路设计；B)硅基晶圆制备；C)在硅基上采用CMOS集成电路工艺制作像素驱动电路，形成衬底；D)在衬底上制备平整层；E)在平整层上方制备石墨烯电极层；F)在石墨烯电极层上制备微米级micro LED阵列；G)采用高透光率石墨烯薄膜制备石墨烯防眩防护层；H)芯片分割、测试、模组封装及引线，与现有技术相比，本发明结构简单，大幅提高了技术指标，并可快速实现产业化。

主权项

1.一种基于micro LED技术的新型微显示器件，其特征在于：所述新型微显示器件针对产品应用特征，采用硅基+micro LED的结构，根据芯片设计，在硅基上直接形成像素驱动电路，然后在上层制备微型化的micro LED阵列，形成一个个的像素单元，每个像素单元单独驱动以形成图像。