[发明专利]一种基于micro LED技术的新型微显示器件及其制造方法

说明书

本发明涉及一种基于micro LED技术的新型微显示器件及其制造方法，所述新型微显示器件采用硅基+micro LED的结构，在硅基上直接形成像素驱动电路，然后在上层制备微型化的micro LED阵列，形成一个个的像素单元，每个像素单元单独驱动以形成图像，并采用石墨烯材料制备电极层和防眩防护层；所述制造方法包括A)集成电路设计；B)硅基晶圆制备；C)在硅基上采用CMOS集成电路工艺制作像素驱动电路，形成衬底；D)在衬底上制备平整层；E)在平整层上方制备石墨烯电极层；F)在石墨烯电极层上制备微米级micro LED阵列；G)采用高透光率石墨烯薄膜制备石墨烯防眩防护层；H)芯片分割、测试、模组封装及引线，与现有技术相比，本发明结构简单，大幅提高了技术指标，并可快速实现产业化。

技术领域

本发明涉及电子元器件领域，尤其是涉及基于micro LED技术的新型微显示器件及其制造方法，主要应用于微型投影光引擎，可制造多种微型投影显示视频终端产品。

背景技术

目前用于微型投影显示终端的核心微显示器件相对较成熟的主流技术主要是DLP(Digital Light Processing，数字光处理技术)和LCOS(Liquid Crystal On Silicone，硅基液晶光技术)，DLP目前为美国TI全球独家垄断，国内微投产业发展严重受其绝对定价权限制，而LCOS由于良品率低等原因难以得到有效的产业化发展，且二者皆为反射式投影显示系统，所形成的光引擎均存在一定的能量损耗，光利用率普遍不高。随着传统平板显示和微型投影显示技术的发展，未来可期的主流微显示技术为AMOLED(有源有机发光二极管技术)和micro LED无机发光二极管技术，二者由于都是自发光，均可设计为直射式光引擎系统，四种显示技术性能对比如下：

分类	DLP	LCOS	AMOLED	Micro LED
显示系统	反射式	反射式	直射式	直射式
发光效率	相对较低	10％	50％	100％
发光能量密度	10(低)	10(低)	10(低)	100(高)
像素密度	300ppi	300ppi	600ppi	1500ppi
工作电压	高	高	低	最低
工作温度	-40℃～105℃	-40℃～100℃	-30℃～85℃	-100℃～120℃
光学结构	复杂	复杂	较简单	简单
反应时间	毫秒(ms)	毫秒(ms)	微秒(us)	纳秒(ns)