[发明专利]一种阵列基板、显示装置及阵列基板的制作方法

摘要

本发明公开了一种阵列基板、显示装置及阵列基板的制作方法，以避免刻蚀液损伤有源层，优化薄膜晶体管特性。阵列基板包括：衬底基板；位于衬底基板之上的栅极以及与栅极连接的栅线；位于栅极和栅线远离衬底基板一侧的栅极绝缘层；位于栅极绝缘层远离栅极一侧的有源层；位于有源层远离栅极绝缘层一侧且覆盖基板的覆盖层，覆盖层包括金属导电部分和透明绝缘金属氧化物部分，金属导电部分和透明绝缘金属氧化物部分的金属元素相同，金属导电部分包括相对设置且分别与有源层连接的源极和漏极，以及与源极连接的数据线。

主权项

1.一种阵列基板，其特征在于，包括：衬底基板；位于所述衬底基板之上的栅极以及与所述栅极连接的栅线；位于所述栅极和所述栅线远离所述衬底基板一侧的栅极绝缘层；位于所述栅极绝缘层远离所述栅极一侧的有源层；位于所述有源层远离所述栅极绝缘层一侧且覆盖所述基板的覆盖层，所述覆盖层包括金属导电部分和透明绝缘金属氧化物部分，所述金属导电部分和所述透明绝缘金属氧化物部分的金属元素相同，所述金属导电部分包括相对设置且分别与所述有源层连接的源极和漏极，以及与所述源极连接的数据线。