[发明专利]基于组合X射线毛细管的微束X射线荧光分析方法

摘要

一种基于组合X射线毛细管的微束X射线荧光分析方法，包括如下步骤：1)先利用可见光激光器进行系统光轴校准，校准完成后将发出不可见的X射线辐射的X射线光管移入系统光轴；2)利用基于组合X射线毛细管器件形成荧光探测微束；3)X射线光照射在所述组合X射线毛细管器件上，位于不同位置的每一个X射线毛细管透镜分别对入射其的那部分X射线光聚焦，多个焦斑的叠加最终形成X射线探测微束，并照射到样品台上的被检样品；4)所述X射线探测器贴近样品台上的被测样品放置，收集X射线探测微束照射被测样品所产生的二次荧光，并送入信息采集分析模块进行荧光分析。本发明同时具备高微区分辨率和高探测灵敏度，并可进行现场分析。

主权项

1.一种基于组合X射线毛细管的微束X射线荧光分析方法，其特征在于，实现所述方法的系统包括X射线光管、可见光激光器、组合X射线毛细管器件、样品台和X射线探测器及其信息采集分析模块，所述X射线光管或可见光激光器均和组合X射线毛细管器件、样品台的被测样品位于同一光轴上，所述X射线探测器贴近被测样品放置；所述微束X射线荧光分析方法包括如下步骤：1)因X射线辐射不可见，先利用可见光激光器进行系统光轴校准，所述可见光激光器用于校准，校准完成后，将发出不可见的X射线辐射的X射线光管移入系统光轴，同时可见光激光器移出系统光轴；2)利用基于组合X射线毛细管器件形成荧光探测微束，所述X射线探测器与信息采集分析模块相连；所述组合X射线毛细管器件包括2个以上X射线毛细管透镜和组合X射线毛细管机械紧固件，所述X射线毛细管透镜是一种基于反射效应的X射线聚光器件，能够对多波长X射线辐射进行二维聚焦，形成点状聚焦焦斑；所述X射线毛细管透镜入射端尺寸大于出射端尺寸，其出射端到焦斑的尺寸称为X射线毛细管透镜的后焦距；所述组合X射线毛细管机械紧固件起固定X射线毛细管透镜的作用，依据组合X射线毛细管器件的组合布局，在其内部安置并固定2个以上X射线毛细管透镜；3)X射线光照射在所述组合X射线毛细管器件上，位于不同位置的每一个X射线毛细管透镜分别对入射其的那部分X射线光聚焦，多个焦斑的叠加最终形成X射线探测微束，并照射到样品台上的被检样品；4)所述X射线探测器贴近样品台上的被测样品放置，收集X射线探测微束照射被测样品所产生的二次荧光，并送入信息采集分析模块进行荧光分析。