[发明专利]具有浮岛的片上电容器有效
| 申请号： | 201810228938.7 | 申请日： | 2018-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN108630651B | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 荻野淳;夫拉特·察哈恩;叶广闻;艾哈迈德·哈森 | 申请（专利权）人： | 格芯(美国)集成电路科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/49 | 分类号： | H01L23/49;H01L21/50 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及具有浮岛的片上电容器，揭露用于片上电容器的结构以及形成片上电容器的方法。形成金属端子，其具有侧边。形成金属指，其具有平行布置。形成由金属组成的浮岛并使该浮岛与该金属指电性隔离。各该金属指具有端部并自该金属端子的该侧边向该端部延伸。各该浮岛与该金属指的其中相应一个的该端部呈间隔关系布置。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 电容器 | ||
【主权项】：
1.一种用于电容器的结构，该结构包括：第一金属端子，具有侧边；多个第一金属指，具有平行布置，各该多个第一金属指具有端部并自该第一金属端子的该侧边向该端部延伸；以及多个第一浮岛，分别由金属组成并与该多个第一金属指电性隔离，各该多个第一浮岛与该多个第一金属指的其中相应一个的该端部呈间隔关系布置。
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